מעטאַל אָרגאַנישע כעמישע פארע דעפּאַזישאַן (MOCVD), די מקור פון גאַזאַרטיק מאַטעריאַל איז מעטאַל אָרגאַנישע קאַמפּאַונד גאַז, און דער גרונט רעאַקציע פּראָצעס פון דעפּאַזישאַן איז ענלעך צו CVD.
1.MOCVD רוי גאַז
די גאַז-קוואַל געניצט פֿאַר MOCVD איז מעטאַל-אָרגאַנישע קאַמפּאַונד (MOC) גאַז. מעטאַל-אָרגאַנישע קאַמפּאַונדז זענען סטאַבילע קאַמפּאַונדז פּראָדוצירט דורך קאַמביינינג אָרגאַנישע סאַבסטאַנסיז מיט מעטאַלן. אָרגאַנישע קאַמפּאַונדז האָבן אַלקיל, אַראָמאַטישע. אַלקיל אַרייַננעמען מעטיל, עטיל, פּראָפּיל און בוטיל. אַלקיל אַרייַננעמען מעטיל, עטיל, פּראָפּיל און בוטיל. אַראָמאַטישע אַרייַנגערעכנט פעניל האָמאָלאָגן, טרימעטיל גאַליום, [Ga(CH3)3], טרימעטיל אַלומינום [Al(CH3)3] פֿאַר די דעפּאָזיציע פֿון מיקראָעלעקטראָניק, אָפּטאָעלעקטראָניק, האַלב-קאָנדוקטאָרן אין די דריי, פֿינף פֿאַרבינדונגען אין דער פֿילם-שיכט, ווי Ga(CH3)3 און אַמאָניאַק קען זיין אין די סיליקאָן וועיפער אָדער סאַפיר אויף די עפּיטאַקסיאַל וווּקס פון LED לאַמפּס אין די InGaN לומאַנעסאַנט שיכט. LED לאַמפּס זענען מער ווי טאַנגסטאַן ינקאַנדעסאַנט לאַמפּס ענערגיע-שפּאָרנדיק 90%, מער ווי 60% ענערגיע-שפּאָרנדיק פלורעסאַנט לאַמפּס. LED לאַמפּס זענען 90% מער ענערגיע עפעקטיוו ווי טאַנגסטאַן ינקאַנדעסאַנט לאַמפּס און 60% מער ענערגיע עפעקטיוו ווי פלורעסאַנט לאַמפּס. הייַנט, אַלע מינים גאַס לאַמפּס, לייטינג לאַמפּס און אויטאָמאָביל לאַמפּס באַזירט אויף LED ליכט-עמיטינג פילמס געשאפן דורך MOCVD.
2. דעפּאַזישאַן טעמפּעראַטור
די דעקאָמפּאָזיציע טעמפּעראַטור פון אָרגאַנישע מעטאַל קאַמפּאַונדז איז נידעריק, און די דעפּאָזיציע טעמפּעראַטור איז נידעריקער ווי די פון HCVD. די דעפּאָזיציע טעמפּעראַטור פון TiN דעפּאָנירט דורך MOCVD קען זיין רידוסט צו וועגן 500 גראַד.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 20סטן אָקטאָבער 2023