די הייס דראָט אַרק פֿאַרשטאַרקטע פּלאַזמע כעמישע פארע דעפּאַזישאַן טעכנאָלאָגיע ניצט די הייס דראָט אַרק ביקס צו אַרויסגעבן אַרק פּלאַזמע, אַבריוויייטיד ווי די הייס דראָט אַרק PECVD טעכנאָלאָגיע. די טעכנאָלאָגיע איז ענלעך צו די הייס דראָט אַרק ביקס יאָן קאָוטינג טעכנאָלאָגיע, אָבער דער חילוק איז אַז די האַרט פילם באקומען דורך הייס דראָט אַרק ביקס יאָן קאָוטינג ניצט די אַרק ליכט עלעקטראָן לויפן ימיטאַד דורך די הייס דראָט אַרק ביקס צו וואַרעמען און דאַמפּף די מעטאַל אין די קרוסיבל, בשעת די הייס דראָט אַרק ליכט PECVD איז געפֿיטערט מיט רעאַקציע גאַזן, אַזאַ ווי CH4 און H2, וואָס זענען געניצט פֿאַר דעפּאַזיטינג דימענט פילמס. דורך פאַרלאָזן זיך אויף די הויך-דענסיטי אַרק דיסטשאַרדזש קראַנט ימיטאַד דורך די הייס דראָט אַרק ביקס, די רעאַקטיוו גאַז יאָנען זענען יקסייטאַד צו באַקומען פאַרשידן אַקטיוו פּאַרטיקאַלז, אַרייַנגערעכנט גאַז יאָנען, אַטאָם יאָנען, אַקטיוו גרופּעס, און אַזוי ווייטער.
אין דעם הייסן דראָט בויגן PECVD מיטל, זענען צוויי עלעקטראָמאַגנעטישע שפּולן נאָך אינסטאַלירט אַרויס דעם קאָוטינג צימער, וואָס פאַראורזאַכט אַז דער הויך-דענסיטי עלעקטראָן שטראָם זאָל זיך דרייען בעת דער באַוועגונג צו דער אַנאָדע, וואָס פאַרגרעסערט די וואַרשיינלעכקייט פון קאָליזיע און יאָניזאַציע צווישן דעם עלעקטראָן שטראָם און דעם רעאַקציע גאַז. די עלעקטראָמאַגנעטישע שפּול קען אויך קאָנווערגירן אין אַ בויגן זייל צו פאַרגרעסערן די פּלאַזמע געדיכטקייט פון דער גאַנצער דעפּאָזיציע קאַמער. אין בויגן פּלאַזמע, איז די געדיכטקייט פון די אַקטיווע פּאַרטיקלען הויך, וואָס מאַכט עס גרינגער צו דעפּאָזירן דימענט פילמען און אַנדערע פילם שיכטן אויף דער ווערקפּיס.
——דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן געוואָרן דורך גואַנגדאָנג זשענהואַ טעכנאָלאָגיע, אַפאַבריקאַנט פון אָפּטישע קאָוטינג מאַשינען.
פּאָסט צייט: מײַ-05-2023