1. Có lợi cho việc phun và mạ màng cách điện. Sự thay đổi nhanh chóng về cực tính của điện cực có thể được sử dụng để phun trực tiếp các mục tiêu cách điện để thu được màng cách điện. Nếu sử dụng nguồn điện DC để phun và lắng đọng màng cách điện, màng cách điện sẽ chặn các ion dương đi vào catốt, tạo thành lớp tích tụ ion dương, dễ bị đánh lửa và đánh lửa. Sau khi lắng đọng một màng cách điện trên anot, các electron bị chặn không cho đi vào anot, dẫn đến hiện tượng anot biến mất. Khi sử dụng nguồn điện RF để phủ màng cách điện, do cực tính xen kẽ của các điện cực, các điện tích dương tích tụ trên catốt trong nửa chu kỳ đầu tiên sẽ được các electron trung hòa trong nửa chu kỳ sau và các electron tích tụ trên anot sẽ được các ion dương trung hòa. Quá trình ngược lại trong nửa chu kỳ sau có thể loại bỏ sự tích tụ điện tích trên điện cực và quá trình xả có thể diễn ra bình thường.
2. Điện cực tần số cao tạo ra điện áp tự phân cực. Trong thiết bị RF có cấu trúc điện cực phẳng, các điện cực tần số cao trong mạch sử dụng khớp nối điện dung tạo ra điện áp tự phân cực. Sự khác biệt lớn giữa tốc độ di chuyển electron và tốc độ di chuyển ion trong quá trình phóng điện cho phép các electron đạt được tốc độ di chuyển lớn hơn tại một thời điểm nhất định, trong khi tốc độ ion chậm hơn gây ra sự tích tụ. Điện cực tần số cao ở điện thế âm trong hầu hết mỗi chu kỳ, dẫn đến điện áp âm trên địa hình, đây là hiện tượng tự phân cực của điện cực tần số cao.
Độ tự phân cực do điện cực phóng điện RF tạo ra đẩy nhanh quá trình bắn phá ion của điện cực catốt để liên tục phát ra các electron thứ cấp để duy trì quá trình phóng điện và độ tự phân cực đóng vai trò tương tự như sự sụt giảm catốt trong quá trình phóng điện phát sáng DC. Mặc dù sử dụng nguồn điện RF, quá trình phóng điện có thể ổn định do điện áp tự phân cực do điện cực tần số cao tạo ra đạt 500-1000V.
3. Phóng điện tần số vô tuyến đóng vai trò quan trọng trong phóng điện phát sáng áp suất khí quyển và phóng điện phát sáng rào cản điện môi được giới thiệu sau này.
Thời gian đăng: 21-06-2023