Metall organik kimyoviy bug'larning cho'kishi (MOCVD), gazsimon materialning manbai metall organik birikma gazidir va cho'ktirishning asosiy reaktsiya jarayoni CVD ga o'xshaydi.
1.MOCVD xom gazi
MOCVD uchun ishlatiladigan gazsimon manba metall-organik birikma (MOC) gazidir. Metall-organik birikmalar - bu organik moddalarni metallar bilan birlashtirish natijasida hosil bo'lgan barqaror birikmalar. Organik birikmalarda alkil, aromatik mavjud. Alkilga metil, etil, propil va butil kiradi. Alkilga metil, etil, propil va butil kiradi. Aromatik, shu jumladan fenil gomologlari, trimetil galyum, [Ga(CH3)3], trimetil alyuminiy [Al(CH3)3] mikroelektronika, optoelektronika, yarimo'tkazgichlarni plyonka qatlamidagi Ga(CH) kabi uchta, beshta birikmaga joylashtirish uchun3)3 va ammiak InGaN lyuminestsent qatlamida LED lampalar epitaksial o'sishi bo'yicha silikon gofret yoki sapfirda bo'lishi mumkin. LED lampalar volframli akkordan ko'proq energiya tejaydigan 90%, energiya tejaydigan lyuminestsent lampalar 60% dan ortiq. LED lampalar volframli akkor lampalarga qaraganda 90% energiya tejamkor va lyuminestsent lampalarga qaraganda 60% energiya tejamkor. Hozirgi kunda barcha turdagi ko'cha chiroqlari, yoritish lampalari va avtomobil lampalari asosan MOCVD tomonidan ishlab chiqarilgan LED yorug'lik chiqaradigan plyonkalardan foydalanadi.
2. Cho'kma harorati
Organik metall birikmalarining parchalanish harorati past va cho'kish harorati HCVD dan past. MOCVD tomonidan yotqizilgan TiN ning cho'kma harorati taxminan 500 darajaga tushirilishi mumkin.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Xabar berish vaqti: 20-oktabr-2023