(1) purkash gazi. O'chiruvchi gaz yuqori püskürtme rentabelligi, maqsadli materialga inert, arzon, yuqori tozalik va boshqa xususiyatlarga ega bo'lishi kerak. Umuman olganda, argon eng ideal püskürtme gazidir.
(2) Cho'kish kuchlanishi va taglik kuchlanishi. Ushbu ikki parametr plyonkaning xususiyatlariga muhim ta'sir ko'rsatadi, püskürtme kuchlanishi nafaqat cho'kish tezligiga ta'sir qiladi, balki cho'ktirilgan plyonkaning tuzilishiga ham jiddiy ta'sir qiladi. Substrat potentsiali inson inyeksiyasining elektron yoki ion oqimiga bevosita ta'sir qiladi. Agar substrat tuproqli bo'lsa, u ekvivalent elektronlar tomonidan bombardimon qilinadi; Agar substrat to'xtatilgan bo'lsa, u porlash zonasida joylashgan bo'lib, V1 suspenziya potentsialining erga nisbatan bir oz manfiy potentsialini olish va V2 taglik atrofidagi plazmaning potentsiali substrat potentsialidan yuqori bo'lishi, bu elektronlar va musbat ionlarning ma'lum darajada bombardimon qilinishiga olib keladi, natijada plyonka qalinligi, tarkibi va boshqa xususiyatlari o'zgarishiga olib keladi: agar u substratning kuchlanishiga mos keladigan bo'lsa, u po bilan mos keladigan bo'lsa. elektronlar yoki ionlarni elektr qabul qilish, nafaqat substratni tozalash va plyonkaning yopishqoqligini oshirish, balki filmning tuzilishini ham o'zgartirishi mumkin. Radiochastota purkash qoplamasida, o'tkazgich membranasini tayyorlash plyus doimiy oqim: dielektrik membranani tayyorlash va sozlash tarafkashligi.
(3) Substrat harorati. Substrat harorati plyonkaning ichki zo'riqishiga ko'proq ta'sir qiladi, bu harorat substratda yotqizilgan atomlarning faolligiga to'g'ridan-to'g'ri ta'sir qiladi, shuning uchun plyonka tarkibini, tuzilishini, o'rtacha don hajmini, kristall yo'nalishini va to'liq emasligini aniqlaydi.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Yuborilgan vaqt: 2024 yil 05-yanvar