1. sputtering اور چڑھانا موصلیت فلم کے لئے فائدہ مند. الیکٹروڈ پولرٹی میں تیزی سے تبدیلی کا استعمال براہ راست انسولیٹنگ اہداف کو موصل فلمیں حاصل کرنے کے لیے کیا جا سکتا ہے۔ اگر DC پاور سورس کا استعمال موصلیت کی فلم کو پھٹنے اور جمع کرنے کے لیے کیا جاتا ہے، تو موصلیت کی فلم مثبت آئنوں کو کیتھوڈ میں داخل ہونے سے روک دے گی، جس سے ایک مثبت آئن جمع ہونے والی تہہ بنتی ہے، جو ٹوٹنے اور اگنیشن کا شکار ہوتی ہے۔ انوڈ پر ایک موصل فلم جمع کرنے کے بعد، الیکٹرانوں کو انوڈ میں داخل ہونے سے روک دیا جاتا ہے، جس کے نتیجے میں انوڈ کے غائب ہونے کا رجحان ہوتا ہے۔ موصلیت کی فلم کوٹ کرنے کے لیے RF پاور سورس کا استعمال کرتے وقت، الیکٹروڈز کی متبادل قطبیت کی وجہ سے، سائیکل کے پہلے نصف حصے میں کیتھوڈ پر جمع ہونے والے مثبت چارجز کو سائیکل کے دوسرے نصف حصے میں الیکٹرانوں کے ذریعے بے اثر کر دیا جائے گا، اور انوڈ پر جمع ہونے والے الیکٹران مثبت آئنوں کے ذریعے بے اثر ہو جائیں گے۔ دوسرے نصف سائیکل میں مخالف عمل الیکٹروڈ پر چارجز کے جمع ہونے کو ختم کر سکتا ہے، اور خارج ہونے کا عمل عام طور پر آگے بڑھ سکتا ہے۔
2. اعلی تعدد الیکٹروڈ خود تعصب پیدا کرتے ہیں۔ فلیٹ الیکٹروڈ سٹرکچر کے ساتھ RF ڈیوائس میں، کیپسیٹیو کپلنگ میچنگ کا استعمال کرتے ہوئے سرکٹ میں ہائی فریکوئنسی الیکٹروڈ خود تعصب وولٹیج پیدا کرتے ہیں۔ اخراج میں الیکٹران کی منتقلی کی رفتار اور آئن کی منتقلی کی رفتار کے درمیان بہت بڑا فرق الیکٹرانوں کو ایک مقررہ وقت پر زیادہ حرکت کی رفتار حاصل کرنے کے قابل بناتا ہے، جبکہ آئن کی سست رفتار جمع ہونے کا سبب بنتی ہے۔ ہائی فریکوئینسی الیکٹروڈ ہر ایک سائیکل کے زیادہ تر کے لیے منفی صلاحیت پر ہوتا ہے، جس کے نتیجے میں خطہ پر منفی وولٹیج ہوتا ہے، جو کہ ہائی فریکوئنسی الیکٹروڈ کے خود تعصب کا رجحان ہے۔
RF ڈسچارج الیکٹروڈ کے ذریعے پیدا ہونے والا خود تعصب کیتھوڈ الیکٹروڈ کے آئن بمباری کو تیز کرتا ہے تاکہ ڈسچارج کے عمل کو برقرار رکھنے کے لیے ثانوی الیکٹرانوں کا مسلسل اخراج ہو، اور خود تعصب ڈی سی گلو ڈسچارج میں کیتھوڈ ڈراپ کی طرح کردار ادا کرتا ہے۔ اگرچہ RF پاور سپلائی کا استعمال کرتے ہوئے، 500-1000V تک پہنچنے والے ہائی فریکوئنسی الیکٹروڈ کے ذریعے پیدا ہونے والے خود تعصب وولٹیج کی وجہ سے ڈسچارج مستحکم ہو سکتا ہے۔
3. ریڈیو فریکوئنسی ڈسچارج وایمنڈلیی پریشر گلو ڈسچارج اور بعد میں متعارف کرائے جانے والے ڈائی الیکٹرک بیریئر گلو ڈسچارج میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔
پوسٹ ٹائم: جون-21-2023