دھاتی نامیاتی کیمیائی بخارات کا ذخیرہ

دھاتی نامیاتی کیمیائی بخارات جمع (MOCVD)، گیسی مواد کا ذریعہ دھاتی نامیاتی مرکب گیس ہے، اور جمع کرنے کا بنیادی رد عمل CVD کی طرح ہے۔

1. MOCVD خام گیس

MOCVD کے لیے استعمال ہونے والا گیسی ماخذ دھاتی نامیاتی مرکب (MOC) گیس ہے۔ دھاتی-نامیاتی مرکبات مستحکم مرکبات ہیں جو نامیاتی مادوں کو دھاتوں کے ساتھ ملا کر تیار ہوتے ہیں۔ نامیاتی مرکبات میں الکائل، خوشبودار ہوتا ہے۔ الکائل میں میتھائل، ایتھائل، پروپیل اور بٹائل شامل ہیں۔ الکائل میں میتھائل، ایتھائل، پروپیل اور بٹائل شامل ہیں۔ خوشبودار جس میں فینائل ہومولوگس، ٹرائیمتھائل گیلیم، [Ga(CH₃)₃]، trimethyl ایلومینیم [Al(CH₃)₃فلم کی تہہ میں تین، پانچ مرکبات میں مائیکرو الیکٹرانکس، آپٹو الیکٹرانکس، سیمی کنڈکٹرز جمع کرنے کے لیے، جیسے گا(CH₃)₃ اور امونیا InGaN luminescent تہہ میں LED لیمپ کی epitaxial نمو پر سلکان ویفر یا نیلم میں ہو سکتا ہے۔ ایل ای ڈی لیمپ ٹنگسٹن تاپدیپت توانائی کی بچت 90٪ سے زیادہ ہیں، 60٪ سے زیادہ توانائی کی بچت والے فلوروسینٹ لیمپ۔ ایل ای ڈی لیمپ ٹنگسٹن انکینڈسنٹ لیمپ کے مقابلے میں 90% زیادہ توانائی کے حامل ہیں اور فلوروسینٹ لیمپ کے مقابلے میں 60% زیادہ توانائی کے حامل ہیں۔ آج کل، تمام قسم کے اسٹریٹ لیمپ، لائٹنگ لیمپ اور آٹوموبائل لیمپ بنیادی طور پر MOCVD کے ذریعہ تیار کردہ LED لائٹ ایمیٹنگ فلموں کا استعمال کرتے ہیں۔

2. جمع کرنے کا درجہ حرارت

نامیاتی دھاتی مرکبات کا سڑنے کا درجہ حرارت کم ہے، اور جمع کرنے کا درجہ حرارت HCVD سے کم ہے۔ MOCVD کے ذریعہ جمع کردہ TiN کا درجہ حرارت تقریبا 500 ڈگری تک کم کیا جاسکتا ہے۔

-یہ مضمون کی طرف سے جاری کیا گیا ہےویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا