1. Корисний для розпилення та нанесення ізоляційної плівки. Швидка зміна полярності електродів може бути використана для безпосереднього розпилення ізоляційних мішеней для отримання ізоляційних плівок. Якщо для розпилення та нанесення ізоляційної плівки використовується джерело постійного струму, ізоляційна плівка блокуватиме потрапляння позитивних іонів до катода, утворюючи шар накопичення позитивних іонів, який схильний до пробою та займання. Після нанесення ізоляційної плівки на анод, електрони блокуються від потрапляння до анода, що призводить до явища зникнення анода. При використанні радіочастотного джерела живлення для покриття ізоляційної плівки, через змінну полярність електродів, позитивні заряди, накопичені на катоді в першій половині циклу, будуть нейтралізовані електронами в другій половині циклу, а електрони, накопичені на аноді, будуть нейтралізовані позитивними іонами. Зворотний процес у другій половині циклу може усунути накопичення зарядів на електроді, і процес розряду може протікати нормально.
2. Високочастотні електроди генерують власне зміщення. У радіочастотному пристрої з плоскою структурою електродів високочастотні електроди в колі, що використовують ємнісний зв'язок, генерують напругу власного зміщення. Величезна різниця між швидкістю міграції електронів та швидкістю міграції іонів під час розряду дозволяє електронам досягати більшої швидкості руху в заданий момент часу, тоді як менша швидкість іонів призводить до накопичення потенціалу. Високочастотний електрод має негативний потенціал протягом більшої частини кожного циклу, що призводить до негативної напруги на поверхні, що є явищем власного зміщення високочастотного електрода.
Власне зміщення, що генерується радіочастотним розрядним електродом, прискорює іонне бомбардування катодного електрода, що призводить до безперервної емісії вторинних електронів для підтримки процесу розряду, а власне зміщення відіграє роль, подібну до падіння напруги на катоді в тліючому розряді постійного струму. Незважаючи на використання радіочастотного джерела живлення, розряд може бути стабільним завдяки напрузі власного зміщення, що генерується високочастотним електродом, яка досягає 500-1000 В.
3. Радіочастотний розряд відіграє важливу роль у тліючому розряді за атмосферного тиску та тліючому розряді з діелектричним бар'єром, введених пізніше.
Час публікації: 21 червня 2023 р.