(1) Розпилювальний газ. Розпилювальний газ повинен мати такі характеристики, як високий коефіцієнт розпилення, інертність до матеріалу мішені, дешевизна, легкість отримання, висока чистота та інші. Загалом, аргон є найбільш ідеальним розпилювальним газом.
(2) Напруга розпилення та напруга підкладки. Ці два параметри мають важливий вплив на характеристики плівки, напруга розпилення впливає не тільки на швидкість осадження, але й суттєво впливає на структуру осадженої плівки. Потенціал підкладки безпосередньо впливає на потік електронів або іонів під час ін'єкцій. Якщо підкладка заземлена, вона бомбардується еквівалентними електронами; якщо підкладка підвішена, то в зоні тліючого розряду виникає дещо негативний потенціал відносно землі, тобто потенціал суспензії V1, а потенціал плазми навколо підкладки V2 вищий за потенціал підкладки, що призводить до певного ступеня бомбардування електронами та позитивними іонами, що призводить до змін товщини, складу та інших характеристик плівки: якщо до підкладки цілеспрямовано прикладати напругу зміщення, щоб вона відповідала полярності електричного акцептування електронів або іонів, це може не тільки очистити підкладку та покращити адгезію плівки, але й змінити її структуру. У радіочастотному розпилюванні покриття, підготовка провідної мембрани плюс постійне зміщення: підготовка діелектричної мембрани плюс налаштування зміщення.
(3) Температура підкладки. Температура підкладки має більший вплив на внутрішню напругу плівки, що пов'язано з тим, що температура безпосередньо впливає на активність осаджених атомів на підкладці, визначаючи таким чином склад плівки, структуру, середній розмір зерен, орієнтацію кристалів та їх неповноту.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 05 січня 2024 р.