مېتال ئورگانىك خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (MOCVD) ، گاز ماتېرىيالىنىڭ مەنبەسى مېتال ئورگانىك بىرىكمە گاز ، چۆكۈشنىڭ ئاساسلىق ئىنكاس جەريانى CVD بىلەن ئوخشاش.
1.MOCVD خام گازى
MOCVD ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان گاز مەنبەسى مېتال ئورگانىك بىرىكمە (MOC) گازى. مېتال ئورگانىك بىرىكمىلەر ئورگانىك ماددىلار بىلەن مېتاللارنى بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق ھاسىل بولغان مۇقىم بىرىكمىلەر. ئورگانىك بىرىكمىلەردە ئالكىل ، خۇشپۇراق بار. ئالكىل مېتىل ، ئېتىل ، پروپىل ۋە بۇتىل قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئالكىل مېتىل ، ئېتىل ، پروپىل ۋە بۇتىل قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. فېنىل گومولوگىيىسى ، ترىمېتىل گاللىينى ئۆز ئىچىگە ئالغان خۇشپۇراق ، [گا (CH)3)3] ، ترىمېتىل ئاليۇمىن [Al (CH)3)3] مىكرو ئېلېكترون ، ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ كىنو قەۋىتىدىكى ئۈچ ، بەش بىرىكمە ماددىنىڭ چۆكۈپ كېتىشى ئۈچۈن ، مەسىلەن گا (CH)3)3 ھەمدە ئاممىياك InGaN نۇر قەۋىتىدىكى LED لامپىلارنىڭ تارقىلىشچان ئۆسۈشىدە كرېمنىيلىق ۋافېر ياكى كۆك ياقۇتتا بولىدۇ. LED لامپۇچكىلارنىڭ يورۇتۇش ئېنېرگىيىسىنىڭ% 90 تىن ئېشىپ كېتىشى ، ئېنېرگىيە تېجەيدىغان فلۇئورېسسېن چىرىغىنىڭ% 60 تىن كۆپرەكى. LED لامپۇچكىلارنىڭ يورۇتۇش چىرىغىغا قارىغاندا% 90 ئېنېرگىيە ، فتور فېرمېن چىرىغىدىن% 60 يۇقىرى ئۈنۈملۈك. ھازىر ھەر خىل كوچا چىرىغى ، يورۇتۇش چىرىغى ۋە ماشىنا چىرىغى ئاساسەن MOCVD ئىشلەپچىقارغان LED نۇر تارقىتىدىغان كىنولارنى ئىشلىتىدۇ.
2. چۆكمە تېمپېراتۇرىسى
ئورگانىك مېتال بىرىكمىلەرنىڭ پارچىلىنىش تېمپېراتۇرىسى تۆۋەن ، چۆكۈش تېمپېراتۇرىسى HCVD نىڭكىدىن تۆۋەن. MOCVD ئامانەت قويغان TiN نىڭ چۆكمە تېمپېراتۇرىسىنى تەخمىنەن 500 گرادۇسقا چۈشۈرگىلى بولىدۇ.
–بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
يوللانغان ۋاقتى: 10-ئاينىڭ 20-كۈنىدىن 20-كۈنىگىچە