Металл органик химик пар парламенты (MOCVD), газлы материал чыганагы - металл органик кушылма газ, һәм төп реакция процессы CVD белән охшаш.
1.MOCVD чимал газы
MOCVD өчен кулланылган газ чыганагы - металл-органик кушылма (MOC) газы. Металл-органик кушылмалар - органик матдәләрне металл белән берләштереп ясалган тотрыклы кушылмалар. Органик кушылмаларда алкил, хуш ис бар. Алкилга метил, этил, пропил һәм бутил керә. Алкилга метил, этил, пропил һәм бутил керә. Фенил гомологлар, триметил галлиум, шул исәптән хуш исле, [Га (CH)3)3], триметил алюминий [Al (CH)3)3] микроэлектроника, оптоэлектроника, ярымүткәргечләрне өч, биш катламда кино катламында, мәсәлән, Ga (CH) өчен3)3 һәм аммиак кремний вафында яки сапфирда булырга мөмкин, InGaN люминесцент катламында LED лампаларның эпитаксиаль үсешендә. LED лампалар вольфрам утлы энергияне саклаучы 90% тан, 60% тан артык энергия саклаучы флуоресцент лампалар. LED лампалар вольфрам утлы лампаларга караганда 90%, энергия флюоресцент лампаларга караганда 60% эффектив. Бүгенге көндә төрле урам лампалары, яктырткычлар һәм автомобиль лампалары, нигездә, MOCVD җитештергән LED яктылык җибәрүче фильмнарны кулланалар.
2. Чокыр температурасы
Органик металл кушылмаларның таркалу температурасы түбән, һәм чүпләнү температурасы HCVDныкыннан түбән. MOCVD тарафыннан урнаштырылган TiN температурасы якынча 500 градуска кадәр киметелергә мөмкин.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 20-2023 октябрь