1. Yalıtım filmini püskürtmek ve kaplamak için faydalıdır. Elektrot polaritesindeki hızlı değişim, yalıtım filmleri elde etmek için yalıtım hedeflerini doğrudan püskürtmek için kullanılabilir. Yalıtım filmini püskürtmek ve biriktirmek için bir DC güç kaynağı kullanılırsa, yalıtım filmi pozitif iyonların katoda girmesini engelleyerek, bozulmaya ve tutuşmaya eğilimli bir pozitif iyon birikim tabakası oluşturur. Anot üzerine bir yalıtım filmi biriktirildikten sonra, elektronların anoda girmesi engellenir ve bu da anotun kaybolması olgusuyla sonuçlanır. Yalıtım filmini kaplamak için bir RF güç kaynağı kullanıldığında, elektrotların dönüşümlü polaritesi nedeniyle, döngünün ilk yarısında katotta biriken pozitif yükler döngünün ikinci yarısında elektronlar tarafından nötrleştirilecek ve anotta biriken elektronlar pozitif iyonlar tarafından nötrleştirilecektir. İkinci yarı döngüdeki ters işlem, elektrot üzerindeki yük birikimini ortadan kaldırabilir ve deşarj işlemi normal şekilde ilerleyebilir.
2. Yüksek frekanslı elektrotlar kendi kendine önyargı üretir. Düz elektrot yapısına sahip RF cihazında, kapasitif kuplaj eşleştirmesi kullanan devredeki yüksek frekanslı elektrotlar kendi kendine önyargı voltajı üretir. Deşarj sırasında elektron göç hızı ile iyon göç hızı arasındaki büyük fark, elektronların belirli bir zamanda daha büyük bir hareket hızına ulaşmasını sağlarken, daha yavaş iyon hızı birikime neden olur. Yüksek frekanslı elektrot her döngünün çoğunda negatif bir potansiyeldedir ve bu da arazide negatif bir voltaja neden olur, bu da yüksek frekanslı elektrotun kendi kendine önyargısı olgusudur.
RF deşarj elektrodu tarafından üretilen öz önyargı, deşarj sürecini sürdürmek için sürekli olarak İkincil elektronlar yaymak üzere katot elektrodunun iyon bombardımanını hızlandırır ve öz önyargı, DC kızdırma deşarjındaki katot düşüşüne benzer bir rol oynar. Bir RF güç kaynağı kullanılmasına rağmen, yüksek frekanslı elektrod tarafından üretilen öz önyargı voltajının 500-1000V'a ulaşması nedeniyle deşarj kararlı olabilir.
3. Radyo frekanslı deşarj, daha sonra tanıtılan atmosferik basınç kızdırma deşarjı ve dielektrik bariyer kızdırma deşarjında önemli bir rol oynar.
Gönderi zamanı: 21-Haz-2023