1. Kapaki-pakinabang para sa sputtering at plating insulation film. Ang mabilis na pagbabago sa polarity ng elektrod ay maaaring magamit upang direktang i-sputter ang mga insulating target upang makakuha ng mga insulating film. Kung ang isang DC power source ay ginagamit upang mag-sputter at mag-deposito ng insulation film, hahadlangan ng insulation film ang mga positibong ion sa pagpasok sa cathode, na bubuo ng positibong ion accumulation layer, na madaling masira at mag-apoy. Pagkatapos magdeposito ng isang insulating film sa anode, ang mga electron ay hinarangan mula sa pagpasok sa anode, na nagreresulta sa hindi pangkaraniwang bagay ng pagkawala ng anode. Kapag gumagamit ng RF power source para mag-coat ng insulation film, dahil sa alternating polarity ng mga electrodes, ang mga positibong singil na naipon sa cathode sa unang kalahati ng cycle ay ine-neutralize ng mga electron sa ikalawang kalahati ng cycle, at ang mga electron na naipon sa anode ay ma-neutralize ng mga positibong ion. Ang kabaligtaran na proseso sa ikalawang kalahating ikot ay maaaring alisin ang akumulasyon ng mga singil sa elektrod, at ang proseso ng paglabas ay maaaring magpatuloy nang normal.
2. High frequency electrodes bumuo ng self bias. Sa RF device na may flat electrode structure, ang mga high-frequency na electrodes sa circuit na gumagamit ng capacitive coupling matching ay bumubuo ng self bias na boltahe. Ang malaking pagkakaiba sa pagitan ng bilis ng paglipat ng elektron at bilis ng paglipat ng ion sa paglabas ay nagbibigay-daan sa mga electron na makamit ang isang mas mataas na bilis ng paggalaw sa isang partikular na oras, habang ang mas mabagal na bilis ng ion ay nagdudulot ng akumulasyon. Ang high-frequency na electrode ay nasa negatibong potensyal para sa karamihan ng bawat cycle, na nagreresulta sa isang negatibong boltahe sa terrain, na kung saan ay ang phenomenon ng self bias ng high-frequency electrode.
Ang self bias na nabuo ng RF discharge electrode ay nagpapabilis sa ion bombardment ng cathode electrode upang patuloy na naglalabas ng mga Secondary electron upang mapanatili ang proseso ng discharge, at ang self bias ay gumaganap ng katulad na papel sa cathode drop sa DC glow discharge. Bagama't gumagamit ng RF power supply, ang discharge ay maaaring maging stable dahil sa self bias voltage na nabuo ng high-frequency electrode na umaabot sa 500-1000V.
3. Ang radio frequency discharge ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa atmospheric pressure glow discharge at dielectric barrier glow discharge na ipinakilala sa ibang pagkakataon.
Oras ng post: Hun-21-2023