Mga salik na nakakaapekto sa pagbuo ng pelikula Kabanata 1

(1) Sputtering gas. Ang sputtering gas ay dapat magkaroon ng mga katangian ng mataas na sputtering yield, hindi gumagalaw sa target na materyal, mura, madaling makakuha ng mataas na kadalisayan at iba pang mga katangian. Sa pangkalahatan, ang argon ay ang mas perpektong sputtering gas.

(2) Sputtering boltahe at substrate boltahe. Ang dalawang parameter na ito ay may mahalagang epekto sa mga katangian ng pelikula, ang sputtering boltahe ay hindi lamang nakakaapekto sa rate ng pagtitiwalag, ngunit seryoso ring nakakaapekto sa istraktura ng idineposito na pelikula. Ang potensyal ng substrate ay direktang nakakaapekto sa daloy ng elektron o ion ng iniksyon ng tao. Kung ang substrate ay grounded, ito ay bombarded sa pamamagitan ng katumbas na mga electron; kung ang substrate ay nasuspinde, ito ay nasa glow discharge area upang makakuha ng bahagyang negatibong potensyal na nauugnay sa ground ng suspension potential V1, at ang potensyal ng plasma sa paligid ng substrate V2 ay mas mataas kaysa sa substrate potential, na magbubunga ng isang tiyak na antas ng pambobomba ng mga electron at positive ions, na nagreresulta sa mga pagbabago sa film kapal, komposisyon, at iba pang mga katangian na naaayon sa boltahe ng substrate na ito ay naaayon sa boltahe ng substrate, at iba pang mga katangian: ang electrical pagtanggap ng mga electron o ions, hindi lamang maaaring linisin ang substrate at mapahusay ang pagdirikit ng pelikula, ngunit baguhin din ang istraktura ng pelikula. Sa radio frequency sputtering coating, ang paghahanda ng conductor membrane plus DC bias: ang paghahanda ng dielectric membrane plus tuning bias.

(3) Temperatura ng substrate. Ang temperatura ng substrate ay may mas malaking epekto sa panloob na stress ng pelikula, na dahil sa temperatura ay direktang nakakaapekto sa aktibidad ng mga nadeposito na atomo sa substrate, kaya tinutukoy ang komposisyon ng pelikula, istraktura, average na laki ng butil, oryentasyon ng kristal at hindi kumpleto.

–Ang artikulong ito ay inilabas ngtagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua