1-nji TGV aýnany deşik arkaly örtmegiň tehnologiýasyna umumy syn
TGV aýnasynyň deşik arkaly örtülmegi aýna substratlarynda deşikleri döretmegi we olaryň içki diwarlaryny metallaşdyrmagy öz içine alýan täze mikroelektron gaplama tehnologiýasy bolup, ýokary dykyzlykdaky elektrik arabaglanyşygyny üpjün edýär. Adaty TSV (Silicon Via arkaly) we organiki substratlara garanyňda, TGV aýnasy signalyň pes ýitgisi, ýokary açyklyk we ajaýyp termal durnuklylyk ýaly artykmaçlyklary hödürleýär. Bu häsiýetler TGV-ni 5G aragatnaşygynda, optoelektron gaplamada, MEMS sensorlarynda we başgalarda ulanmak üçin amatly edýär.
2-nji bazar mümkinçilikleri: TGV aýnasy näme üçin üns çekýär?
Ýokary ýygylykly aragatnaşygyň, optoelektron integrasiýanyň we ösen gaplama tehnologiýalarynyň çalt ösüşi bilen TGV aýnasyna bolan isleg yzygiderli artýar:
5G we Millimetr-Tolkun Aragatnaşyk: TGV aýnasynyň pes ýitgili häsiýetleri ony antennalar we süzgüçler ýaly ýokary ýygylykly RF enjamlary üçin ideal edýär.
Optoelektronik gaplama: Aýnanyň ýokary açyklygy kremniý fotonika we LiDAR ýaly ulanylyşlar üçin peýdalydyr.
MEMS Sensor Gaplama: TGV aýnasy ýokary dykyzlykdaky özara baglanyşyklary üpjün edýär, sensorlaryň kiçileşdirilmegini we işini ýokarlandyrýar.
Ösen ýarymgeçiriji gaplama: Çiplet tehnologiýasynyň ösmegi bilen TGV aýna substratlary ýokary dykyzlykly gaplamalarda uly mümkinçiliklere eýedir.
3-nji TGV Aýna PVD Örtüginiň Jikme-jik Prosesi
TGV aýna PVD örtüginiň metallaşdyrylmagy elektrik birikdirmelerini gazanmak üçin geçiriji materiallary geçirijileriň içki diwarlaryna ýerleşdirmegi öz içine alýar. Adaty proses akymyna aşakdakylar girýär:
1. TGV aýnasyny deşik arkaly emele getirmek: TGV wiaslaryny döretmek üçin lazer bilen deşmek (UV/CO₂ lazerleri), çygly aşındyrmak ýa-da gurak aşındyrmak ulanylýar, soňra bolsa arassalanýar.
2. Ýüzleý işleme: Aýna bilen metallaşdyrma gatlagynyň arasyndaky ýelmeşmäni güýçlendirmek üçin plazma ýa-da himiki işleme ulanylýar.
3. Tohum gatlagynyň çökmegi: PVD (Fiziki bug çökmegi) ýa-da CVD (Himiki bug çökmegi) aýnanyň deşik diwarlaryna metal tohum gatlagyny (meselem, mis, titan/mis, palladiý) çökdürmek üçin ulanylýar.
4. Elektrokaplama: Pes garşylykly özara baglanyşyklary gazanmak üçin elektrokaplama arkaly tohum gatlagynyň üstüne geçirijilikli mis goýulýar.
5. Işlenenden soň: Aşakdaky metal aýrylýar we ygtybarlylygy ýokarlandyrmak üçin ýüz passiwasiýa geçirilýär.
4-nji prosesiň kynçylyklary: TGV aýna çuň deşikli örtük maşynynyň kynçylyklary
Geljekki geljegine garamazdan, TGV aýna çuň deşik örtük maşyny birnäçe tehniki kynçylyklar bilen ýüzbe-ýüz bolýar:
1. TGV aýna çuň deşik örtüginiň birmeňzeşligi: Ýokary tarap gatnaşyklaryna eýe bolan (5:1-den 10:1-e çenli) aýna çuň deşikler köplenç girişde metal toplanmagyndan we aşagynda ýeterlik doldurylmazlygyndan ejir çekýär.
2. Tohum gatlagynyň çökmegi: Aýna izolýator bolup, ýokary hilli geçiriji tohum gatlagyny üsti bilen diwarlara çökdürmegi kynlaşdyrýar.
3. Stress gözegçiligi: Metalyň we aýnanyň termal giňelme koeffisiýentlerindäki tapawutlar olaryň egrilenmegine ýa-da çatlamagyna sebäp bolup biler.
4. Aýnanyň çuň deşikli örtük gatlaklarynyň ýelmeşmegi: Aýnanyň tekiz ýüzi metalyň gowşak ýelmeşmegine getirýär, bu bolsa ýüzüni işläp bejermegiň optimizirlenen usullaryny talap edýär.
5. Köpçülikleýin önümçilik we çykdajylaryň gözegçiligi: Metallaşdyrmanyň netijeliligini ýokarlandyrmak we çykdajylary azaltmak TGV tehnologiýasynyň täjirçilikleşdirilmegi üçin örän möhümdir.
5-nji Zhenhua Sowuk sorujysynyň TGV Aýna PVD Örtük Enjamlarynyň Çözgüdi – Gorizontal Örtük Içinde Örtük
Enjamlaryň artykmaçlyklary:
1. Aýnanyň deşik arkaly metalizasiýa örtüginiň eksklýuziw tehnologiýasy
“Zhenhua Vacuum” kompaniýasynyň hususy “Aýna arkaly deşikli metalizasiýa örtügi” tehnologiýasy, hatda 30 mikron ýaly kiçi deşikler üçin hem, 10:1 çenli taraplar gatnaşygy bilen aýna arkaly deşikli örtügi işläp bilýär.
2. Dürli ölçegler üçin sazlanyp bilner
600 × 600 mm, 510 × 515 mm ýa-da ondan uly dürli ölçegdäki aýna substratlaryny goldaýar.
3. Prosesiň çeýeligi
Cu, Ti, W, Ni we Pt ýaly geçiriji ýa-da işjeň inçe plýonka materiallary bilen utgaşykly bolup, geçirijilik we korroziýa garşylygy üçin dürli ulanylyş talaplaryna laýyk gelýär.
4. Durnukly iş we aňsat tehniki hyzmat
Parametrleri awtomatiki sazlamak we plýonkanyň galyňlygynyň deňligini real wagt režiminde gözegçilik etmek üçin intellektual dolandyryş ulgamy bilen enjamlaşdyrylan. Modul dizaýny aňsat tehniki hyzmat we iş wagtyny azaltmagy üpjün edýär.
Ulanylyş çägi: TGV/TSV/TMV ösen gaplama üçin amatly, deşik çuňlugynyň gatnaşygy ≥ 10:1 bolan deşik arkaly tohum gatlagyny örtmegi üpjün edip bilýär.
–Bu makala çap edildiTGV Aýna Deşik arkaly Örtmek Maşyn ÖndürijisiZhenhua sowujy
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 7-nji marty