1-raqamli TGV shisha teshik orqali qoplama texnologiyasiga umumiy nuqtai nazar
TGV shisha teshik orqali qoplama - bu shisha substratlarda teshiklar yaratish va ularning ichki devorlarini metalllashtirishni o'z ichiga olgan yangi mikroelektronik qadoqlash texnologiyasi bo'lib, yuqori zichlikdagi elektr o'zaro bog'liqliklariga erishish uchun. An'anaviy TSV (Through Silicon Via) va organik substratlar bilan taqqoslaganda, TGV oynasi past signal yo'qotilishi, yuqori shaffoflik va ajoyib issiqlik barqarorligi kabi afzalliklarni taklif etadi. Bu xususiyatlar TGV ni 5G aloqasi, optoelektronik qadoqlash, MEMS sensorlari va boshqa sohalarda qo'llash uchun mos qiladi.
2-raqamli bozor istiqbollari: Nima uchun TGV oynalari e'tiborni tortmoqda?
Yuqori chastotali aloqa, optoelektron integratsiya va ilg'or qadoqlash texnologiyalarining jadal rivojlanishi bilan TGV oynalariga talab barqaror ravishda ortib bormoqda:
5G va Millimetr to'lqinli aloqa: TGV oynasining past yo'qotish xususiyatlari uni antennalar va filtrlar kabi yuqori chastotali RF qurilmalari uchun ideal qiladi.
Optoelektronik qadoqlash: Shishaning yuqori shaffofligi kremniy fotonika va LiDAR kabi ilovalar uchun foydalidir.
MEMS Sensor Qadoqlash: TGV oynasi yuqori zichlikdagi o'zaro bog'liqlikni ta'minlaydi, sensorlarning miniatyuralashi va ishlashini yaxshilaydi.
Ilg'or yarimo'tkazgichli qadoqlash: Chiplet texnologiyasining rivojlanishi bilan TGV shisha substratlari yuqori zichlikdagi qadoqlashda katta salohiyatga ega.
№3 TGV Shisha PVD Qoplama Batafsil Jarayon
TGV shisha PVD qoplamasining metallizatsiyasi elektr o'tkazuvchanlik aloqalarini ta'minlash uchun vialarning ichki devorlariga o'tkazuvchan materiallarni joylashtirishni o'z ichiga oladi. Odatdagi jarayon oqimi quyidagilarni o'z ichiga oladi:
1. TGV shishasini teshik orqali hosil qilish: TGV vialarini yaratish uchun lazerli burg'ulash (UV/CO₂ lazerlari), ho'l o'yish yoki quruq o'yish qo'llaniladi, so'ngra tozalash amalga oshiriladi.
2. Yuzaki ishlov berish: Shisha va metallizatsiya qatlami orasidagi yopishishni kuchaytirish uchun plazma yoki kimyoviy ishlov berish qo'llaniladi.
3. Urug' qatlamini cho'ktirish: PVD (Fizik bug' cho'ktirish) yoki CVD (Kimyoviy bug' cho'ktirish) shisha teshik devorlariga metall urug' qatlamini (masalan, mis, titan/mis, palladiy) cho'ktirish uchun ishlatiladi.
4. Elektrokaplama: Past qarshilikli o'zaro bog'liqliklarga erishish uchun elektrokaplama orqali urug' qatlamiga o'tkazuvchan mis qo'yiladi.
5. Qayta ishlashdan keyin: Ortiqcha metall olib tashlanadi va ishonchlilikni oshirish uchun sirt passivatsiyasi amalga oshiriladi.
4-sonli jarayondagi qiyinchiliklar: TGV shisha chuqur teshikli qoplama mashinasining qiyinchiliklari
TGV shisha chuqur teshikli qoplama mashinasi istiqbolli istiqbollariga qaramay, bir qator texnik qiyinchiliklarga duch kelmoqda:
1. TGV shisha chuqur teshik qoplamasining bir xilligi: Yuqori tomonlar nisbatiga ega (5:1 dan 10:1 gacha) shisha chuqur teshiklar ko'pincha kirish qismida metall to'planishi va pastki qismida yetarlicha to'ldirilmaganligidan aziyat chekadi.
2. Urug' qatlamini cho'ktirish: Shisha izolyator bo'lib, u orqali devorlarga yuqori sifatli o'tkazuvchan urug' qatlamini qo'yishni qiyinlashtiradi.
3. Stressni nazorat qilish: Metall va shishaning issiqlik kengayish koeffitsientlaridagi farqlar egrilikka yoki yorilishga olib kelishi mumkin.
4. Shisha chuqur teshik qoplama qatlamlarining yopishishi: Shishaning silliq yuzasi metallning zaif yopishishiga olib keladi, bu esa sirtni qayta ishlash jarayonlarini optimallashtirishni talab qiladi.
5. Ommaviy ishlab chiqarish va xarajatlarni nazorat qilish: Metallizatsiya samaradorligini oshirish va xarajatlarni kamaytirish TGV texnologiyasini tijoratlashtirish uchun juda muhimdir.
5-sonli Zhenhua vakuumining TGV shisha PVD qoplama uskunalari yechimi – gorizontal qoplamali ichki qoplama
Uskunaning afzalliklari:
1. Teshik orqali shisha metallizatsiya qoplamasining eksklyuziv texnologiyasi
Zhenhua Vacuum kompaniyasining maxsus shisha orqali o'tuvchi metall qoplama texnologiyasi, hatto 30 mikrongacha bo'lgan kichik teshiklar uchun ham, 10:1 gacha bo'lgan tomonlar nisbati bilan shisha orqali o'tuvchi qoplamani qayta ishlashga qodir.
2. Turli o'lchamlar uchun moslashtirilishi mumkin
600 × 600 mm, 510 × 515 mm yoki undan kattaroq o'lchamdagi shisha substratlarni qo'llab-quvvatlaydi.
3. Jarayonning moslashuvchanligi
Cu, Ti, W, Ni va Pt kabi o'tkazuvchan yoki funktsional yupqa plyonkali materiallar bilan mos keladi, o'tkazuvchanlik va korroziyaga chidamlilik uchun turli xil qo'llanilish talablariga javob beradi.
4. Barqaror ishlash va oson texnik xizmat ko'rsatish
Avtomatik parametrlarni sozlash va plyonka qalinligining bir xilligini real vaqt rejimida kuzatish uchun aqlli boshqaruv tizimi bilan jihozlangan. Modulli dizayn oson texnik xizmat ko'rsatishni va ishlamay qolish vaqtini kamaytirishni ta'minlaydi.
Qo'llanish doirasi: TGV/TSV/TMV ilg'or qadoqlash uchun mos keladi, teshik chuqurligi nisbati ≥ 10:1 bo'lgan teshik orqali urug' qatlamini qoplashga erishishi mumkin.
–Ushbu maqola nashr etilganTGV shisha teshik orqali qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiZhenhua vakuumi
Nashr vaqti: 2025-yil 7-mart