ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតកញ្ចក់ TGV លេខ 1 តាមរយៈរន្ធ
ថ្នាំកូតកញ្ចក់ TGV ឆ្លងកាត់រន្ធ គឺជាបច្ចេកវិទ្យាវេចខ្ចប់មីក្រូអេឡិចត្រូនិចដែលកំពុងរីកចម្រើន ដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការបង្កើតរន្ធឆ្លងកាត់នៅក្នុងស្រទាប់កញ្ចក់ និងការលាបលោហៈលើជញ្ជាំងខាងក្នុងរបស់វា ដើម្បីទទួលបានការតភ្ជាប់អគ្គិសនីដង់ស៊ីតេខ្ពស់។ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងស្រទាប់ TSV (Through Silicon Via) និងស្រទាប់សរីរាង្គបែបប្រពៃណី កញ្ចក់ TGV ផ្តល់នូវគុណសម្បត្តិដូចជាការបាត់បង់សញ្ញាទាប តម្លាភាពខ្ពស់ និងស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ លក្ខណៈសម្បត្តិទាំងនេះធ្វើឱ្យ TGV សមស្របសម្រាប់កម្មវិធីក្នុងការទំនាក់ទំនង 5G ការវេចខ្ចប់អុបតូអេឡិចត្រូនិច ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា MEMS និងច្រើនទៀត។
ទស្សនវិស័យទីផ្សារលេខ 2៖ ហេតុអ្វីបានជាកញ្ចក់ TGV ទទួលបានការចាប់អារម្មណ៍?
ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍយ៉ាងឆាប់រហ័សនៃការទំនាក់ទំនងប្រេកង់ខ្ពស់ ការរួមបញ្ចូលអុបតូអេឡិចត្រូនិច និងបច្ចេកវិទ្យាវេចខ្ចប់ទំនើប តម្រូវការសម្រាប់កញ្ចក់ TGV កំពុងកើនឡើងជាលំដាប់៖
5G និងការទំនាក់ទំនងរលកមីលីម៉ែត្រ៖ លក្ខណៈនៃការខាតបង់ទាបនៃកញ្ចក់ TGV ធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ឧបករណ៍ RF ប្រេកង់ខ្ពស់ដូចជាអង់តែន និងតម្រង។
ការវេចខ្ចប់អុបតូអេឡិចត្រូនិច៖ តម្លាភាពខ្ពស់នៃកញ្ចក់មានអត្ថប្រយោជន៍សម្រាប់កម្មវិធីដូចជាស៊ីលីកុនហ្វូតូនិក និង LiDAR។
ការវេចខ្ចប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា MEMS៖ កញ្ចក់ TGV អាចឱ្យមានការតភ្ជាប់គ្នាដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់ ដែលបង្កើនការបង្រួមទំហំ និងដំណើរការរបស់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា។
ការវេចខ្ចប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកកម្រិតខ្ពស់៖ ជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃបច្ចេកវិទ្យា Chiplet ស្រទាប់កញ្ចក់ TGV មានសក្តានុពលយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការវេចខ្ចប់ដង់ស៊ីតេខ្ពស់។
ដំណើរការលម្អិតនៃថ្នាំកូត PVD កញ្ចក់ TGV លេខ 3
ការធ្វើលោហៈកម្មនៃថ្នាំកូត PVD កញ្ចក់ TGV ពាក់ព័ន្ធនឹងការដាក់សម្ភារៈដែលដឹកនាំចរន្តអគ្គិសនីនៅលើជញ្ជាំងខាងក្នុងនៃច្រកដើម្បីសម្រេចបាននូវការតភ្ជាប់អគ្គិសនី។ លំហូរដំណើរការធម្មតារួមមាន៖
១. ការបង្កើតរន្ធកញ្ចក់ឆ្លងកាត់ TGV៖ ការខួងឡាស៊ែរ (ឡាស៊ែរ UV/CO₂) ការឆ្លាក់សើម ឬការឆ្លាក់ស្ងួតត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតចំណុចឆ្លងកាត់ TGV បន្ទាប់មកដោយការសម្អាត។
2. ការព្យាបាលផ្ទៃ៖ ការព្យាបាលដោយប្លាស្មា ឬគីមីត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីបង្កើនភាពស្អិតរវាងកញ្ចក់ និងស្រទាប់លោហធាតុ។
៣. ការដាក់ស្រទាប់គ្រាប់ពូជ៖ PVD (ការដាក់ចំហាយរូបវន្ត) ឬ CVD (ការដាក់ចំហាយគីមី) ត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់ស្រទាប់គ្រាប់ពូជលោហៈ (ឧ. ទង់ដែង ទីតានីញ៉ូម/ទង់ដែង ប៉ាឡាដ្យូម) លើជញ្ជាំងរន្ធកញ្ចក់។
៤. ការស្រោបដោយអគ្គិសនី៖ ទង់ដែងដែលមានចរន្តអគ្គិសនីត្រូវបានដាក់លើស្រទាប់គ្រាប់ពូជតាមរយៈការស្រោបដោយអគ្គិសនី ដើម្បីសម្រេចបាននូវការតភ្ជាប់គ្នាដែលមានភាពធន់ទាប។
៥. បន្ទាប់ពីការព្យាបាល៖ លោហៈលើសត្រូវបានយកចេញ ហើយការធ្វើឱ្យផ្ទៃអសកម្មត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីបង្កើនភាពជឿជាក់។
បញ្ហាប្រឈមនៃដំណើរការលេខ ៤៖ បញ្ហាប្រឈមនៃម៉ាស៊ីនស្រោបកញ្ចក់ TGV រន្ធជ្រៅ
បើទោះបីជាមានទស្សនវិស័យដ៏ជោគជ័យក៏ដោយ ម៉ាស៊ីនស្រោបរន្ធជ្រៅកញ្ចក់ TGV ប្រឈមមុខនឹងបញ្ហាប្រឈមផ្នែកបច្ចេកទេសមួយចំនួន៖
១. ឯកសណ្ឋាននៃថ្នាំកូតរន្ធជ្រៅកញ្ចក់ TGV៖ រន្ធជ្រៅកញ្ចក់ដែលមានសមាមាត្រទិដ្ឋភាពខ្ពស់ (៥:១ ដល់ ១០:១) ជារឿយៗទទួលរងពីការប្រមូលផ្តុំលោហៈនៅច្រកចូល និងការបំពេញមិនគ្រប់គ្រាន់នៅខាងក្រោម។
២. ការដាក់ស្រទាប់គ្រាប់ពូជ៖ កញ្ចក់គឺជាអ៊ីសូឡង់ ដែលធ្វើឱ្យវាពិបាកក្នុងការដាក់ស្រទាប់គ្រាប់ពូជដែលដឹកនាំចរន្តអគ្គិសនីដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៅលើជញ្ជាំងឆ្លងកាត់។
៣. ការគ្រប់គ្រងភាពតានតឹង៖ ភាពខុសគ្នានៃមេគុណពង្រីកកម្ដៅនៃលោហៈ និងកញ្ចក់អាចនាំឱ្យមានការរួញ ឬប្រេះ។
៤. ការស្អិតជាប់នៃស្រទាប់ថ្នាំកូតកញ្ចក់ដែលមានរន្ធជ្រៅ៖ ផ្ទៃរលោងនៃកញ្ចក់បណ្តាលឱ្យមានការស្អិតជាប់នៃលោហៈខ្សោយ ដែលចាំបាច់ត្រូវការដំណើរការព្យាបាលផ្ទៃឱ្យបានល្អប្រសើរ។
៥. ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ និងការគ្រប់គ្រងថ្លៃដើម៖ ការកែលម្អប្រសិទ្ធភាពលោហធាតុ និងការកាត់បន្ថយថ្លៃដើម គឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការធ្វើពាណិជ្ជកម្មនៃបច្ចេកវិទ្យា TGV។
ដំណោះស្រាយឧបករណ៍ថ្នាំកូត PVD កញ្ចក់ TGV របស់ម៉ាស៊ីនបូមធូលីលេខ 5 Zhenhua Vacuum – ម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតផ្ដេក
គុណសម្បត្តិឧបករណ៍៖
១. បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតលោហធាតុកញ្ចក់ឆ្លងកាត់រន្ធផ្តាច់មុខ
បច្ចេកវិទ្យា Glass Through-Hole Metallization Coating ដែលមានកម្មសិទ្ធិផ្តាច់មុខរបស់ Zhenhua Vacuum អាចដោះស្រាយ Glass Through-Hole ដែលមានសមាមាត្រទិដ្ឋភាពរហូតដល់ 10:1 សូម្បីតែសម្រាប់រន្ធតូចៗទំហំ 30 មីក្រូនក៏ដោយ។
2. អាចប្ដូរតាមបំណងសម្រាប់ទំហំផ្សេងៗគ្នា
គាំទ្រស្រទាប់កញ្ចក់ដែលមានទំហំផ្សេងៗគ្នា រួមទាំង 600×600មម, 510×515មម ឬធំជាងនេះ។
៣. ភាពបត់បែននៃដំណើរការ
ឆបគ្នាជាមួយវត្ថុធាតុដែលមានចរន្តអគ្គិសនី ឬស្រទាប់ស្តើងដែលមានមុខងារដូចជា Cu, Ti, W, Ni និង Pt ដែលបំពេញតាមតម្រូវការកម្មវិធីចម្រុះសម្រាប់ចរន្តអគ្គិសនី និងភាពធន់នឹងការច្រេះ។
៤. ដំណើរការមានស្ថេរភាព និងងាយស្រួលថែទាំ
បំពាក់ដោយប្រព័ន្ធបញ្ជាឆ្លាតវៃសម្រាប់ការកែតម្រូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាជាក់ស្តែងនៃឯកសណ្ឋានកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត។ ការរចនាម៉ូឌុលធានានូវការថែទាំងាយស្រួល និងកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ។
វិសាលភាពនៃការអនុវត្ត៖ ស័ក្តិសមសម្រាប់ការវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់ TGV/TSV/TMV វាអាចសម្រេចបាននូវថ្នាំកូតស្រទាប់គ្រាប់ពូជតាមរន្ធដែលមានសមាមាត្រជម្រៅរន្ធ ≥ 10:1។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនស្រោបកញ្ចក់ TGV តាមរន្ធម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែមីនា-០៧-២០២៥