Nkọwa nke Teknụzụ Mkpuchi Glass TGV nke 1
Mkpuchi oghere nke iko TGV bụ teknụzụ nkwakọ ngwaahịa microelectronic na-apụta ọhụrụ nke gụnyere imepụta oghere n'ime ihe ndị e ji iko mee na ịgba ígwè mgbidi dị n'ime ha iji nweta njikọ eletriki dị elu. Ma e jiri ya tụnyere TSV ọdịnala (Site na Silicon Via) na ihe ndị e ji organic mee, iko TGV na-enye uru dịka obere mfu mgbaàmà, nnukwu nghọta, na nkwụsi ike okpomọkụ dị mma. Njirimara ndị a na-eme ka TGV dabara adaba maka ngwa na nkwukọrịta 5G, nkwakọ ngwaahịa optoelectronic, ihe mmetụta MEMS, na ndị ọzọ.
Nke 2. Ọdịnihu Ahịa: Gịnị mere iko TGV ji enweta nlebara anya?
Site na mmepe ngwa ngwa nke nkwukọrịta ugboro ugboro, njikọta optoelectronic, na teknụzụ nkwakọ ngwaahịa dị elu, ọchịchọ maka iko TGV na-abawanye nke ukwuu:
Nkwukọrịta 5G na Millimeta-Wave: Njirimara obere mfu nke iko TGV na-eme ka ọ dị mma maka ngwaọrụ RF dị elu dịka antenna na nzacha.
Nkwakọ ngwaahịa Optoelectronic: Nnukwu nghọta nke iko bara uru maka ngwa dị ka silicon photonics na LiDAR.
Nkwakọ ngwaahịa MEMS Sensor: Iko TGV na-eme ka njikọ dị elu, na-eme ka obere ihe mmetụta na arụmọrụ nke ihe mmetụta dịkwuo mma.
Nkwakọ ngwaahịa Semiconductor dị elu: Site na mmụba nke teknụzụ Chiplet, ihe ndị dị na iko TGV nwere nnukwu ikike na nkwakọ ngwaahịa dị elu.
Usoro zuru ezu nke TGV Glass PVD mkpuchi No.3
Nhazi nke mkpuchi iko TGV PVD gụnyere itinye ihe ndị na-eduzi ihe n'ime mgbidi nke vias iji nweta njikọ eletriki. Usoro usoro a na-ahụkarị gụnyere:
1. Nhazi oghere iko TGV: A na-eji igwe laser (laser UV/CO₂), igwe mmiri mmiri, ma ọ bụ igwe kpọrọ nkụ emepụta TGV vias, wee hichaa ya.
2. Ọgwụgwọ Elu: A na-etinye plasma ma ọ bụ ọgwụgwọ kemịkalụ iji mee ka nrapado dị n'etiti iko na oyi akwa metallisation dịkwuo mma.
3. Mbelata Ibe Mkpụrụ: A na-eji PVD (Mbelata Ibe Ahụ) ma ọ bụ CVD (Mbelata Ibe Kemikal) etinye mkpụrụ ígwè (dịka ọmụmaatụ, ọla kọpa, titanium/copper, palladium) n'elu iko ahụ site na mgbidi oghere.
4. Electroplating: A na-etinye ọla kọpa na-eduzi n'elu oyi akwa mkpụrụ site na electroplating iji nweta njikọ dị ala na-eguzogide.
5. Mgbe a gwọchara ya: A na-ewepụ ihe karịrị ígwè ahụ, a na-emekwa ka ọ dị mfe iji mee ka a pụrụ ịtụkwasị ya obi.
Nke 4 Ihe Ịma Aka Usoro: Ihe Ịma Aka nke Igwe Mkpuchi Oghere Miri Emi nke TGV Glass
N'agbanyeghị atụmanya dị mma ya, TGV Glass Deep Hole Coating Machine na-eche ọtụtụ ihe ịma aka teknụzụ ihu:
1. Nha nhata nke mkpuchi oghere miri emi nke iko TGV: Oghere miri emi nke iko nwere oke akụkụ dị elu (5:1 ruo 10:1) na-enwekarị nsogbu site na nchịkọta ígwè n'ọnụ ụzọ mbata na enweghị njupụta zuru oke n'ala.
2. Mbelata oyi akwa mkpụrụ: Iko bụ ihe na-egbochi ihe, na-eme ka ọ sie ike itinye oyi akwa mkpụrụ dị elu na-eduzi n'elu mgbidi via.
3. Njikwa Nrụgide: Ọdịiche dị na ọnụọgụ mgbasa okpomọkụ nke ígwè na iko nwere ike ibute mgbagọ ma ọ bụ mgbawa.
4. Mgbakwunye nke ihe mkpuchi oghere miri emi nke iko: Elu dị nro nke iko na-eme ka ígwè ghara ịdị ike, na-achọ usoro nhazi elu kachasị mma.
5. Mmepụta Oke na Njikwa Ọnụ Ego: Ime ka arụmọrụ nke igwe metallic na ibelata ọnụ ahịa dị oke mkpa maka azụmaahịa nke teknụzụ TGV.
Ngwọta Ngwa Mkpuchi TGV Glass PVD nke Zhenhua Vacuum Nke 5 – Mkpuchi Kwụ ọtọ n'ime mkpuchi
Uru akụrụngwa:
1. Teknụzụ mkpuchi iko pụrụ iche site na oghere
Teknụzụ mkpuchi Glass Through-Hole Metallization nke Zhenhua Vacuum nwere ike ijikwa Glass Through-Hole nke nwere oke akụkụ ruru 10:1, ọbụlagodi maka obere oghere dị obere dịka micron 30.
2. Nhazi maka nha dị iche iche
Na-akwado ihe ndị e ji iko mee nke nha dị iche iche, gụnyere 600×600mm, 510×515mm, ma ọ bụ karịa.
3. Mgbanwe Usoro
Dakọtara na ihe ndị na-eduzi ma ọ bụ ihe ndị dị gịrịgịrị dịka Cu, Ti, W, Ni, na Pt, na-emezu ihe dị iche iche achọrọ maka ojiji na iguzogide nchara.
4. Arụmọrụ kwụsiri ike na mmezi dị mfe
E ji sistemụ njikwa nwere ọgụgụ isi mee ka nhazi paramita akpaka na nlekota oge n'ezie nke nha nhata ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ. Nhazi modular na-eme ka mmezi dị mfe ma belata oge ọrụ.
Oke Ngwa: Dabara adaba maka nkwakọ ngwaahịa TGV/TSV/TMV dị elu, ọ nwere ike ime ka mkpuchi mkpụrụ dị n'ime oghere dị omimi nke nwere oke omimi oghere ≥ 10:1.
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeIgwe Mkpuchi Mkpuchi TGV nke dị n'ime oghereZhenhua Vacuum
Oge ozi: Maachị-07-2025