№1 TGV айнекти тешик аркылуу каптоо технологиясына сереп
TGV айнекти тешик аркылуу каптоо - бул айнек субстраттарында тешиктерди түзүү жана алардын ички дубалдарын металлдаштыруу менен жогорку тыгыздыктагы электрдик байланыштарды камсыз кылууну камтыган жаңы микроэлектрондук таңгактоо технологиясы. Салттуу TSV (Through Silicon Via) жана органикалык субстраттарга салыштырмалуу, TGV айнеги сигналдын аз жоголушу, жогорку тунуктук жана эң сонун жылуулук туруктуулугу сыяктуу артыкчылыктарды сунуштайт. Бул касиеттер TGVди 5G байланышында, оптоэлектрондук таңгактоодо, MEMS сенсорлорунда жана башка тармактарда колдонууга ылайыктуу кылат.
№2 рыноктун келечеги: Эмне үчүн TGV айнеги көңүл бурууда?
Жогорку жыштыктагы байланыштын, оптоэлектрондук интеграциянын жана өнүккөн таңгактоо технологияларынын тез өнүгүшү менен TGV айнегине болгон суроо-талап туруктуу өсүп жатат:
5G жана миллиметрдик толкун байланышы: TGV айнегинин аз жоготуу мүнөздөмөлөрү аны антенналар жана чыпкалар сыяктуу жогорку жыштыктагы RF түзмөктөрү үчүн идеалдуу кылат.
Оптоэлектрондук таңгактоо: Айнектин жогорку тунуктугу кремний фотоникасы жана LiDAR сыяктуу колдонмолор үчүн пайдалуу.
MEMS сенсордук таңгагы: TGV айнеги жогорку тыгыздыктагы өз ара байланыштарды камсыз кылат, сенсорлордун миниатюризациясын жана иштешин жакшыртат.
Өркүндөтүлгөн жарым өткөргүч таңгактоо: Чиплет технологиясынын өнүгүшү менен TGV айнек субстраттары жогорку тыгыздыктагы таңгактоодо олуттуу потенциалга ээ.
№3 TGV айнек PVD каптоосунун деталдуу процесси
TGV айнек PVD каптоосун металлдаштыруу электрдик байланыштарды камсыз кылуу үчүн өткөргүч материалдарды өтүүчү түтүктөрдүн ички дубалдарына жайгаштырууну камтыйт. Типтүү процесстин агымы төмөнкүлөрдү камтыйт:
1. TGV айнегин тешик аркылуу түзүү: TGV айнегин түзүү үчүн лазердик бургулоо (UV/CO₂ лазерлери), нымдуу оюу же кургак оюу колдонулат, андан кийин тазалоо жүргүзүлөт.
2. Беттик иштетүү: Айнек менен металлдаштыруу катмарынын ортосундагы адгезияны күчөтүү үчүн плазмалык же химиялык иштетүү колдонулат.
3. Үрөн катмарын чөктүрүү: PVD (физикалык буу чөктүрүү) же CVD (химиялык буу чөктүрүү) айнектин тешик дубалдарына металл үрөн катмарын (мисалы, жез, титан/жез, палладий) чөктүрүү үчүн колдонулат.
4. Гальваникалык каптоо: Өткөргүч жез үрөн катмарына электропактоо аркылуу чөктүрүлүп, каршылыктын аздыгынан улам өз ара байланыштар түзүлөт.
5. Иштетүүдөн кийин: Ашыкча металл алынып салынат жана ишенимдүүлүктү жогорулатуу үчүн беттик пассивдештирүү жүргүзүлөт.
№4 Процесстик кыйынчылыктар: TGV айнекти терең тешик менен каптоо машинасынын кыйынчылыктары
Келечектүү келечегине карабастан, TGV айнек терең тешиктүү каптоо машинасы бир катар техникалык кыйынчылыктарга туш болууда:
1. TGV айнек терең тешик каптоосунун бирдейлиги: Жогорку тараптардын катышына ээ (5:1ден 10:1ге чейин) айнек терең тешиктери көп учурда өтмөктүн кире беришинде металлдын топтолушунан жана түбүндө жетиштүү толтурулбагандыктан жабыркайт.
2. Үрөн катмарын чөктүрүү: Айнек изолятор болуп саналат, ошондуктан дубалдарга жогорку сапаттагы өткөргүч үрөн катмарын чөктүрүү кыйын.
3. Чыңалууну көзөмөлдөө: Металл менен айнектин жылуулук кеңейүү коэффициенттериндеги айырмачылыктар алардын кыйшайышына же жарака кетишине алып келиши мүмкүн.
4. Терең тешиктүү айнек каптоо катмарларынын адгезиясы: Айнектин жылмакай бети металлдын алсыз адгезиясына алып келет, бул бетти иштетүү процесстерин оптималдаштырууну талап кылат.
5. Массалык өндүрүш жана чыгымдарды көзөмөлдөө: TGV технологиясын коммерциялаштыруу үчүн металлдаштыруунун натыйжалуулугун жогорулатуу жана чыгымдарды азайтуу абдан маанилүү.
№5 Zhenhua чаң соргучунун TGV айнек PVD каптоо жабдууларынын чечими – Горизонталдык каптоо линия ичиндеги каптоочу
Жабдуулардын артыкчылыктары:
1. Айнекти тешик аркылуу металлдаштыруунун эксклюзивдүү технологиясы
Zhenhua Vacuum компаниясынын менчик айнек аркылуу тешик металлдаштыруучу каптоо технологиясы 30 микрон сыяктуу кичинекей тешиктер үчүн да 10:1ге чейинки тараптардын катышы менен айнек аркылуу тешиктерди иштете алат.
2. Ар кандай өлчөмдөр үчүн ылайыкташтырылган
600 × 600 мм, 510 × 515 мм же андан чоңураак өлчөмдөгү айнек субстраттарды колдойт.
3. Процесстин ийкемдүүлүгү
Cu, Ti, W, Ni жана Pt сыяктуу өткөргүч же функционалдык жука пленкалуу материалдар менен шайкеш келет, өткөргүчтүк жана коррозияга туруктуулук боюнча ар кандай колдонуу талаптарына жооп берет.
4. Туруктуу иштөө жана оңой тейлөө
Плёнканын калыңдыгынын бирдейлигин автоматтык түрдө жөнгө салуу жана реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөө үчүн акылдуу башкаруу системасы менен жабдылган. Модулдук дизайн оңой тейлөөнү жана иштебей калуу убактысын кыскартууну камсыз кылат.
Колдонуу чөйрөсү: TGV/TSV/TMV өркүндөтүлгөн таңгактоо үчүн ылайыктуу, тешик тереңдигинин катышы ≥ 10:1 болгон тешик аркылуу үрөн катмарын каптоого жетише алат.
– Бул макала жарыяланганTGV айнекти тешик аркылуу каптоочу машина өндүрүүчүсүЧжэньхуа чаң соргуч
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 7-марты