№1 TGV әйнек тесігі арқылы жабын жабу технологиясына шолу
TGV әйнек жабыны - шыны негіздерінде тесіктер жасауды және олардың ішкі қабырғаларын металлдандыруды қамтитын жаңадан пайда болып келе жатқан микроэлектронды қаптама технологиясы, ол жоғары тығыздықтағы электрлік өзара байланыстарға қол жеткізу үшін қажет. Дәстүрлі TSV (Through Silicon Via) және органикалық негіздермен салыстырғанда, TGV әйнегі сигналдың төмен жоғалуы, жоғары мөлдірлігі және тамаша термиялық тұрақтылық сияқты артықшылықтарды ұсынады. Бұл қасиеттер TGV-ді 5G байланысында, оптоэлектронды қаптамада, MEMS сенсорларында және т.б. қолдануға жарамды етеді.
№2 нарықтық перспективалар: TGV әйнегі неге назар аударып жатыр?
Жоғары жиілікті байланыстың, оптоэлектрондық интеграцияның және озық қаптама технологияларының қарқынды дамуымен TGV әйнегіне деген сұраныс үнемі артып келеді:
5G және миллиметрлік толқындық байланыс: TGV әйнегінің төмен шығынды сипаттамалары оны антенналар мен сүзгілер сияқты жоғары жиілікті RF құрылғылары үшін өте қолайлы етеді.
Оптоэлектронды қаптама: Әйнектің жоғары мөлдірлігі кремний фотоникасы және LiDAR сияқты қолданбалар үшін тиімді.
MEMS сенсорлық қаптамасы: TGV әйнегі жоғары тығыздықтағы өзара байланыстарды қамтамасыз етеді, сенсорлардың миниатюризациясы мен өнімділігін арттырады.
Жетілдірілген жартылай өткізгіш қаптама: Chiplet технологиясының дамуымен TGV шыны негіздері жоғары тығыздықтағы қаптамада айтарлықтай әлеуетке ие.
№3 TGV шыны PVD жабынының егжей-тегжейлі процесі
TGV шыны PVD жабынын металлдау электрлік байланыстарға қол жеткізу үшін өткізгіш материалдарды өтпелердің ішкі қабырғаларына жағуды қамтиды. Әдеттегі процесс ағынына мыналар кіреді:
1. TGV әйнегі арқылы тесік қалыптастыру: TGV виаларын жасау үшін лазерлік бұрғылау (УК/CO₂ лазерлері), ылғалды өңдеу немесе құрғақ өңдеу қолданылады, содан кейін тазалау жүргізіледі.
2. Беттік өңдеу: Шыны мен металлдау қабаты арасындағы адгезияны күшейту үшін плазмалық немесе химиялық өңдеу қолданылады.
3. Тұқым қабатын тұндыру: PVD (физикалық бу тұндыру) немесе CVD (химиялық бу тұндыру) шыны тесік қабырғаларына металл тұқым қабатын (мысалы, мыс, титан/мыс, палладий) тұндыру үшін қолданылады.
4. Гальваникалық қаптау: Төмен кедергілі өзара байланыстарға қол жеткізу үшін өткізгіш мыс гельдік қаптау арқылы тұқым қабатына тұндырылады.
5. Өңдеуден кейін: Артық металл алынып тасталады, ал сенімділікті арттыру үшін беттік пассивация жасалады.
№4 Процесс қиындықтары: TGV шыны терең тесікпен жабатын машинаның қиындықтары
TGV шыны терең тесік жабын машинасы өзінің перспективалы перспективаларына қарамастан, бірнеше техникалық қиындықтарға тап болады:
1. TGV шыны терең тесік жабынының біркелкілігі: Жоғары арақатынасы бар (5:1-ден 10:1-ге дейін) шыны терең тесіктер көбінесе өтетін кіреберісте металлдың жиналуынан және түбінде жеткіліксіз толтырудан зардап шегеді.
2. Тұқым қабатының тұндырылуы: Шыны оқшаулағыш болып табылады, сондықтан қабырғаларға жоғары сапалы өткізгіш тұқым қабатын тұндыруды қиындатады.
3. Кернеуді бақылау: Металл мен шынының жылу кеңею коэффициенттеріндегі айырмашылықтар майысуға немесе жарықшақтануға әкелуі мүмкін.
4. Шыны терең тесікті жабын қабаттарының адгезиясы: Шыны бетінің тегіс болуы металлдың әлсіз адгезиясына әкеледі, бұл бетті өңдеу процестерін оңтайландыруды қажет етеді.
5. Жаппай өндіріс және шығындарды бақылау: TGV технологиясын коммерцияландыру үшін металлдандыру тиімділігін арттыру және шығындарды азайту өте маңызды.
№5 Zhenhua шаңсорғышының TGV шыны PVD жабын жабдықтарының шешімі – көлденең жабын желілік жабын тазалағышы
Жабдықтың артықшылықтары:
1. Эксклюзивті әйнек тесігі арқылы металлдандыру жабыны технологиясы
Zhenhua Vacuum компаниясының меншікті шыны арқылы тесік арқылы металлдандыру жабыны технологиясы тіпті 30 микрон сияқты кішкентай тесіктер үшін де 10:1 дейінгі арақатынаспен шыны арқылы тесік арқылы өңдеуге мүмкіндік береді.
2. Әртүрлі өлшемдерге арналған теңшелетін
600 × 600 мм, 510 × 515 мм немесе одан үлкен өлшемдерді қоса алғанда, әртүрлі өлшемдегі шыны негіздерді қолдайды.
3. Процестің икемділігі
Cu, Ti, W, Ni және Pt сияқты өткізгіш немесе функционалды жұқа қабықшалы материалдармен үйлесімді, өткізгіштік және коррозияға төзімділік бойынша әртүрлі қолдану талаптарына сай келеді.
4. Тұрақты өнімділік және оңай техникалық қызмет көрсету
Параметрлерді автоматты түрде реттеу және пленка қалыңдығының біркелкілігін нақты уақыт режимінде бақылау үшін интеллектуалды басқару жүйесімен жабдықталған. Модульдік дизайн оңай техникалық қызмет көрсетуді және жұмыс уақытының қысқаруын қамтамасыз етеді.
Қолданылу аясы: TGV/TSV/TMV озық қаптамаларына жарамды, тесік тереңдігінің қатынасы ≥ 10:1 болатын тесік арқылы тұқым қабатын жабуға қол жеткізе алады.
– Бұл мақала жарияланғанTGV әйнек тесігі арқылы жабатын машина өндірушісіЧжэньхуа шаңсорғышы
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 7 наурыз