1 нче номерлы TGV пыяла тишек аша каплау технологиясенә гомуми күзәтү
TGV пыяла тишек аша каплау - югары тыгызлыктагы электр тоташуларына ирешү өчен пыяла субстратларында тишекләр ясауны һәм аларның эчке стеналарын металллаштыруны үз эченә алган яңа микроэлектрон төрү технологиясе. Традицион TSV (Through Silicon Via) һәм органик субстратлар белән чагыштырганда, TGV пыяласы түбән сигнал югалту, югары үтә күренмәлелек һәм искиткеч җылылык тотрыклылыгы кебек өстенлекләр тәкъдим итә. Бу үзенчәлекләр TGVны 5G элемтәсендә, оптоэлектрон төрүдә, MEMS сенсорларында һәм башка өлкәләрдә куллану өчен яраклы итә.
2 нче базар перспективалары: Ни өчен TGV пыяласы игътибар җәлеп итә?
Югары ешлыклы элемтә, оптоэлектрон интеграция һәм алдынгы төрү технологияләренең тиз үсеше белән TGV пыяласына ихтыяҗ тотрыклы рәвештә арта:
5G һәм миллиметр дулкынлы элемтә: TGV пыяласы түбән югалту үзенчәлекләре аны антенналар һәм фильтрлар кебек югары ешлыклы RF җайланмалары өчен идеаль итә.
Оптоэлектрон Упаковка: Пыяланың югары үтә күренмәлелеге кремний фотоникасы һәм LiDAR кебек кушымталар өчен отышлы.
MEMS сенсор упаковкасы: TGV пыяласы югары тыгызлыктагы тоташуларны тәэмин итә, сенсорларның миниатюризациясен һәм эшчәнлеген яхшырта.
Алдынгы ярымүткәргечле упаковка: Chiplet технологиясенең үсеше белән TGV пыяла субстратлары югары тыгызлыктагы упаковкада зур потенциалга ия.
3 нче номерлы TGV пыяла PVD каплауның җентекле процессы
TGV пыяла PVD каплавын металллаштыру электр тоташуларына ирешү өчен виаларның эчке стеналарына үткәргеч материаллар урнаштыруны үз эченә ала. Гадәти процесс процессы түбәндәгеләрне үз эченә ала:
1. TGV пыяласын тишек аша формалаштыру: TGV пыялаларын ясау өчен лазер бораулау (UV/CO₂ лазерлары), дымлы яки коры ысул кулланыла, аннары чистартыла.
2. Өслек эшкәртү: Пыяла һәм металллаштыру катламы арасындагы адгезияне көчәйтү өчен плазма яки химик эшкәртү кулланыла.
3. Орлык катламын урнаштыру: PVD (Физик пар урнаштыру) яки CVD (Химик пар урнаштыру) пыяла тишек стеналарына металл орлык катламын (мәсәлән, бакыр, титан/бакыр, палладий) урнаштыру өчен кулланыла.
4. Гальваник каплау: Түбән каршылыклы тоташуларга ирешү өчен, электр үткәргеч бакыр орлык катламына электрокаплау аша урнаштырыла.
5. Эшкәртүдән соң: Артык металл алына, һәм ышанычлылыкны арттыру өчен өслек пассивациясе башкарыла.
4 нче технология процессындагы кыенлыклар: TGV пыяла тирән тишекле каплау машинасының кыенлыклары
Өметле перспективаларына карамастан, TGV пыяла тирән тишек каплау машинасы берничә техник кыенлык белән очраша:
1. TGV пыяла тирән тишек каплавының бердәмлеге: Югары аспектлы нисбәтләргә ия (5:1 дән 10:1 гә кадәр) пыяла тирән тишекләр еш кына аша керү урынында металл тупланудан һәм аскы өлешендә тутыру җитәрлек булмаудан интегә.
2. Орлык катламын урнаштыру: Пыяла изолятор булып тора, шуңа күрә стеналарга югары сыйфатлы үткәргеч орлык катламын урнаштыру авыр.
3. Көчәнешне контрольдә тоту: Металл һәм пыяланың җылылык киңәю коэффициентларындагы аермалар кәкрелеккә яки ярылуга китерергә мөмкин.
4. Пыяла тирән тишекле каплау катламнарының ябышуы: Пыяланың тигез өслеге металлның ябышуына китерә, бу өслек эшкәртү процессларын оптимальләштерүне таләп итә.
5. Күпләп җитештерү һәм чыгымнарны контрольдә тоту: TGV технологиясен коммерцияләштерү өчен металллаштыру нәтиҗәлелеген арттыру һәм чыгымнарны киметү бик мөһим.
5 нче номерлы Zhenhua PVC компаниясенең TGV пыяла PVD каплау җиһазлары чишелеше – Горизонталь каплау линия эчендә каплау җайланмасы
Җиһазларның өстенлекләре:
1. Эксклюзив пыяла тишек аша металлизацияләү технологиясе
Zhenhua Vacuum компаниясенең махсус пыяла аша үтүче тишекле металлизацияләү технологиясе, хәтта 30 микрон кебек кечкенә диафрагмалар өчен дә, 10:1 гә кадәр аспект нисбәтләре белән пыяла аша үтүче тишекләрне эшкәртә ала.
2. Төрле зурлыклар өчен көйләнергә мөмкин
600 × 600 мм, 510 × 515 мм яки аннан да зуррак зурлыктагы төрле зурлыктагы пыяла субстратларны тота.
3. Процессның сыгылмалылыгы
Cu, Ti, W, Ni һәм Pt кебек үткәргеч яки функциональ юка пленкалы материаллар белән туры килә, үткәрүчәнлек һәм коррозиягә чыдамлык өчен төрле куллану таләпләренә туры килә.
4. Тотрыклы эш һәм җиңел хезмәт күрсәтү
Пленка калынлыгының бердәмлеген автоматик көйләү һәм реаль вакыт режимында күзәтү өчен акыллы идарә итү системасы белән җиһазландырылган. Модульле дизайн җиңел хезмәт күрсәтүне һәм эш тукталышларын киметүне тәэмин итә.
Куллану өлкәсе: TGV/TSV/TMV алдынгы төргәкләү өчен яраклы, тишек тирәнлеге нисбәте ≥ 10:1 булган тишек аша орлык катламы белән каплауга ирешә ала.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдыTGV пыяла тишек аша каплау машинасы җитештерүчесеЧжэньхуа чүп-чар
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 7 марты