TGV கண்ணாடித் துளைவழிப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பம்: சந்தை வாய்ப்புகளும் செயல்முறைச் சவால்களும்

எண்.1 TGV கண்ணாடி துளைவழி பூச்சு தொழில்நுட்ப கண்ணோட்டம்
TGV கண்ணாடி துளை வழி பூச்சு TGV என்பது ஒரு வளர்ந்து வரும் நுண்மின்னணு பேக்கேஜிங் தொழில்நுட்பமாகும். இது அதிக அடர்த்தி கொண்ட மின் இணைப்புகளை அடைவதற்காக, கண்ணாடித் தளங்களில் துளைகளை உருவாக்கி, அவற்றின் உள் சுவர்களை உலோகமயமாக்குவதை உள்ளடக்கியது. பாரம்பரிய TSV (சிலிக்கான் வழி) மற்றும் கரிமத் தளங்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​TGV கண்ணாடி குறைந்த சிக்னல் இழப்பு, அதிக ஒளிபுகும் தன்மை மற்றும் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை போன்ற நன்மைகளை வழங்குகிறது. இந்தப் பண்புகள், 5G தகவல் தொடர்பு, ஒளியியல் மின்னணு பேக்கேஜிங், MEMS சென்சார்கள் மற்றும் பல பயன்பாடுகளுக்கு TGV-ஐப் பொருத்தமானதாக ஆக்குகின்றன.

எண்.2 சந்தை வாய்ப்புகள்: TGV கிளாஸ் ஏன் கவனம் ஈர்த்து வருகிறது?
உயர் அதிர்வெண் தகவல் தொடர்பு, ஒளியியல் மின்னணு ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் தொழில்நுட்பங்கள் ஆகியவற்றின் விரைவான வளர்ச்சியால், TGV கண்ணாடிக்கான தேவை சீராக அதிகரித்து வருகிறது:

5G மற்றும் மில்லிமீட்டர்-அலைத் தொடர்பு: TGV கண்ணாடியின் குறைந்த இழப்புப் பண்புகள், அதனை ஆண்டெனாக்கள் மற்றும் வடிகட்டிகள் போன்ற உயர் அதிர்வெண் RF சாதனங்களுக்கு மிகவும் உகந்ததாக ஆக்குகின்றன.

ஒளியியல் மின்னணுவியல் உறையிடல்: கண்ணாடியின் அதிக ஒளிபுகும் தன்மையானது, சிலிக்கான் ஃபோட்டானிக்ஸ் மற்றும் லிடார் போன்ற பயன்பாடுகளுக்குச் சாதகமாக உள்ளது.

MEMS சென்சார் பேக்கேஜிங்: TGV கண்ணாடி அதிக அடர்த்தி கொண்ட இடை இணைப்புகளைச் சாத்தியமாக்கி, சென்சார்களின் சிறிதாக்கத்தையும் செயல்திறனையும் மேம்படுத்துகிறது.

மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங்: சிப்லெட் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியுடன், TGV கண்ணாடித் தளங்கள் அதிக அடர்த்தி கொண்ட பேக்கேஜிங்கில் குறிப்பிடத்தக்க ஆற்றலைக் கொண்டுள்ளன.

எண்.3 TGV கண்ணாடி PVD பூச்சு விரிவான செயல்முறை
TGV கண்ணாடி PVD பூச்சின் உலோகப்பூச்சு என்பது, மின்சார இணைப்புகளை ஏற்படுத்துவதற்காக, துளைகளின் உட்புறச் சுவர்களில் கடத்தும் பொருட்களைப் படிய வைப்பதை உள்ளடக்கியது. வழக்கமான செயல்முறை ஓட்டத்தில் பின்வருவன அடங்கும்:

1. TGV கண்ணாடி ஊடுதுளை உருவாக்கம்: TGV துளைகளை உருவாக்குவதற்கு லேசர் துளையிடுதல் (UV/CO₂ லேசர்கள்), ஈரமான அரித்தல் அல்லது உலர்ந்த அரித்தல் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அதனைத் தொடர்ந்து சுத்தம் செய்யப்படுகிறது.

2. மேற்பரப்புச் சீரமைப்பு: கண்ணாடிக்கும் உலோகப் பூச்சுப் படலத்திற்கும் இடையேயான ஒட்டுதலை மேம்படுத்துவதற்காக பிளாஸ்மா அல்லது இரசாயனச் சீரமைப்பு செய்யப்படுகிறது.

3. விதை அடுக்குப் படிவு: கண்ணாடித் துளைச் சுவர்களில் ஒரு உலோக விதை அடுக்கை (எ.கா., தாமிரம், டைட்டானியம்/தாமிரம், பல்லேடியம்) படியவைக்க, PVD (இயற்பியல் ஆவிப் படிவு) அல்லது CVD (வேதியியல் ஆவிப் படிவு) பயன்படுத்தப்படுகிறது.

4. மின்முலாம் பூசுதல்: குறைந்த மின்தடை கொண்ட இடை இணைப்புகளை அடைவதற்காக, மின்முலாம் பூசுதல் மூலம் கடத்தும் தாமிரம் விதை அடுக்கின் மீது படியவைக்கப்படுகிறது.

5. சீரமைப்புக்குப் பிறகு: அதிகப்படியான உலோகம் அகற்றப்பட்டு, நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்காக மேற்பரப்புப் பதப்படுத்தல் செய்யப்படுகிறது.

எண்.4 செயல்முறை சவால்கள்: TGV கண்ணாடி ஆழ்துளை பூச்சு இயந்திரத்தின் சவால்கள்

அதன் நம்பிக்கைக்குரிய எதிர்கால வாய்ப்புகள் இருந்தபோதிலும், TGV கண்ணாடி ஆழ்துளை பூச்சு இயந்திரம் பல தொழில்நுட்ப சவால்களை எதிர்கொள்கிறது:

1. TGV கண்ணாடி ஆழ்துளைப் பூச்சின் சீரான தன்மை: அதிக நீள அகல விகிதங்களைக் (5:1 முதல் 10:1 வரை) கொண்ட கண்ணாடி ஆழ்துளைகள், பெரும்பாலும் துளையின் நுழைவாயிலில் உலோகம் குவிதல் மற்றும் அடிப்பகுதியில் போதுமான நிரப்புதல் இல்லாமை போன்ற சிக்கல்களை எதிர்கொள்கின்றன.

2. விதை அடுக்கு படியவைத்தல்: கண்ணாடி ஒரு மின்காப்புப் பொருள் என்பதால், துளைச் சுவர்களில் உயர்தரமான கடத்தும் விதை அடுக்கைப் படியவைப்பது சவாலானதாக அமைகிறது.
3. அழுத்தக் கட்டுப்பாடு: உலோகம் மற்றும் கண்ணாடியின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகங்களில் உள்ள வேறுபாடுகள், உருக்குலைவு அல்லது விரிசலுக்கு வழிவகுக்கலாம்.

4. கண்ணாடி ஆழ்துளைப் பூச்சு அடுக்குகளின் ஒட்டுதல்: கண்ணாடியின் வழவழப்பான மேற்பரப்பானது உலோக ஒட்டுதலை பலவீனமாக்குகிறது, எனவே மேம்படுத்தப்பட்ட மேற்பரப்பு பதப்படுத்தும் செயல்முறைகள் அவசியமாகின்றன.

5. பெருமளவு உற்பத்தி மற்றும் செலவுக் கட்டுப்பாடு: TGV தொழில்நுட்பத்தை வணிகமயமாக்குவதற்கு, உலோகப்பூச்சுத் திறனை மேம்படுத்துவதும் செலவுகளைக் குறைப்பதும் இன்றியமையாதவை.

எண்.5 ஜென்ஹுவா வேக்யூமின் TGV கிளாஸ் PVD கோட்டிங் உபகரணத் தீர்வு – கிடைமட்ட பூச்சு இன்-லைன் கோட்டர்

உபகரணத்தின் நன்மைகள்:
1. பிரத்யேக கண்ணாடித் துளைவழி உலோகப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பம்
ஜென்ஹுவா வேக்யூமின் தனியுரிமமான கண்ணாடித் துளை உலோகப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பமானது, 30 மைக்ரான் அளவுள்ள மிகச்சிறிய துளைகளிலும்கூட, 10:1 வரையிலான விகிதாச்சாரங்களைக் கொண்ட கண்ணாடித் துளைகளைக் கையாளும் திறன் கொண்டது.

2. வெவ்வேறு அளவுகளுக்கு ஏற்ப மாற்றியமைக்கக்கூடியது
600×600மிமீ, 510×515மிமீ அல்லது அதற்கும் பெரிய அளவுகள் உட்பட, பல்வேறு அளவிலான கண்ணாடித் தளங்களை ஆதரிக்கிறது.

3. செயல்முறை நெகிழ்வுத்தன்மை
Cu, Ti, W, Ni, மற்றும் Pt போன்ற கடத்தும் அல்லது செயல்பாட்டு மென்படலப் பொருட்களுடன் இணக்கமானது, கடத்துத்திறன் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புக்கான பல்வேறு பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

4. நிலையான செயல்திறன் மற்றும் எளிதான பராமரிப்பு
தானியங்கி அளவுரு சரிசெய்தல் மற்றும் படலத் தடிமன் சீரான தன்மையை நிகழ்நேரத்தில் கண்காணிப்பதற்கான நுண்ணறிவு கட்டுப்பாட்டு அமைப்புடன் இது வருகிறது. பாகுபடுத்தும் வடிவமைப்பு, எளிதான பராமரிப்பையும் குறைக்கப்பட்ட செயல்தடை நேரத்தையும் உறுதி செய்கிறது.

பயன்பாட்டு வரம்பு: TGV/TSV/TMV மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்கிற்கு ஏற்றது, இதன் மூலம் 10:1 அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட துளை ஆழ விகிதத்துடன், துளைவழி விதை அடுக்கு பூச்சு செய்ய முடியும்.

–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுTGV கண்ணாடி துளைவழி பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்ஜென்ஹுவா வெற்றிடம்