TGV Нүхээр дамжин өнгөрдөг шилэн бүрхүүлийн технологи: Зах зээлийн хэтийн төлөв ба үйл явцын бэрхшээлүүд

№1 TGV нүхээр дамжин өнгөрдөг шилэн бүрхүүлийн технологийн тойм
TGV Нүхээр дамжин өнгөрдөг шилэн бүрхүүл нь шилэн суурь дээр нүх гаргах, дотор ханыг нь металлжуулах замаар өндөр нягтралтай цахилгаан холболтыг бий болгохыг багтаасан шинээр гарч ирж буй микроэлектроник сав баглаа боодлын технологи юм. Уламжлалт TSV (Through Silicon Via) болон органик суурьтай харьцуулахад TGV шил нь дохионы алдагдал бага, өндөр тунгалаг байдал, маш сайн дулааны тогтвортой байдал зэрэг давуу талуудыг санал болгодог. Эдгээр шинж чанарууд нь TGV-г 5G холбоо, оптоэлектроник сав баглаа боодол, MEMS мэдрэгч гэх мэт салбарт ашиглахад тохиромжтой болгодог.

№2 зах зээлийн хэтийн төлөв: TGV шил яагаад анхаарал татаж байна вэ?
Өндөр давтамжийн харилцаа холбоо, оптоэлектроник интеграци, дэвшилтэт сав баглаа боодлын технологи хурдацтай хөгжиж байгаатай холбогдуулан TGV шилний эрэлт хэрэгцээ тогтвортой өсч байна.

5G болон миллиметрийн долгионы харилцаа холбоо: TGV шилний бага алдагдалтай шинж чанар нь антенн, шүүлтүүр зэрэг өндөр давтамжийн RF төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой болгодог.

Оптоэлектроник сав баглаа боодол: Шилний өндөр тунгалаг байдал нь цахиурын фотоник болон LiDAR зэрэг хэрэглээнд давуу талтай.

MEMS мэдрэгчийн сав баглаа боодол: TGV шил нь өндөр нягтралтай холболтыг бий болгож, мэдрэгчийн жижигрүүлэлт болон гүйцэтгэлийг сайжруулдаг.

Дэвшилтэт хагас дамжуулагч сав баглаа боодол: Чиплет технологийн өсөлттэй холбоотойгоор TGV шилэн суурь нь өндөр нягтралтай сав баглаа боодолд ихээхэн боломжит хүчин чадалтай болсон.

№3 TGV шилэн PVD бүрэх нарийвчилсан үйл явц
TGV шилэн PVD бүрхүүлийг металлжуулах нь цахилгаан холболтыг бий болгохын тулд дамжуулах хоолойн дотор хананд дамжуулагч материалыг хуримтлуулахыг хэлнэ. Ердийн процессын урсгалд дараахь зүйлс орно.

1. TGV шилийг нүхээр үүсгэх: Лазер өрөмдлөг (UV/CO₂ лазер), нойтон сийлбэр эсвэл хуурай сийлбэр ашиглан TGV шилийг үүсгэж, дараа нь цэвэрлэнэ.

2. Гадаргуугийн боловсруулалт: Шил болон металлжуулалтын давхаргын хоорондох наалдацыг сайжруулахын тулд плазмын эсвэл химийн боловсруулалт хийдэг.

3. Үрийн давхаргын тунадасжилт: PVD (Физик уурын тунадасжилт) эсвэл CVD (Химийн уурын тунадасжилт)-ийг шилэн нүхний хананд металл үрийн давхарга (жишээ нь, зэс, титан/зэс, палладий) тунадасжуулахад ашигладаг.

4. Цахилгаан бүрэх: Цахилгаан бүрэх замаар үрийн давхарга дээр дамжуулагч зэсийг хуримтлуулж, бага эсэргүүцэлтэй холболтыг бий болгодог.

5. Боловсруулалтын дараа: Илүүдэл металлыг зайлуулж, найдвартай байдлыг сайжруулахын тулд гадаргуугийн идэвхгүйжүүлэлтийг хийдэг.

№4 Үйл явцын бэрхшээлүүд: TGV шилэн гүн нүхний бүрэх машины бэрхшээлүүд

Ирээдүйтэй хэтийн төлөвтэй хэдий ч TGV Glass Deep Hole Coating Machine нь хэд хэдэн техникийн бэрхшээлтэй тулгардаг:

1. TGV шилэн гүн нүхний бүрхүүлийн жигд байдал: Өндөр харьцаатай (5:1-ээс 10:1 хүртэл) шилэн гүн нүх нь ихэвчлэн нүхний үүдэнд металл хуримтлагдах, доод хэсэгт нь хангалтгүй дүүргэлт хийх зэргээс болж зовдог.

2. Үрийн давхаргын тунадасжилт: Шил нь тусгаарлагч тул өндөр чанартай дамжуулагч үрийн давхаргыг нэвтлэх хананд наалдуулахад хэцүү болгодог.
3. Стрессийн хяналт: Металл болон шилний дулааны тэлэлтийн коэффициентийн зөрүү нь муруйлт эсвэл хагаралд хүргэж болзошгүй.

4. Шилний гүн нүхний бүрхүүлийн давхаргын наалдац: Шилний гөлгөр гадаргуу нь металлын наалдацыг сулруулж, гадаргуугийн боловсруулалтын оновчтой процессыг шаарддаг.

5. Массын үйлдвэрлэл ба өртгийн хяналт: TGV технологийг арилжааны болгоход металлжуулалтын үр ашгийг дээшлүүлж, зардлыг бууруулах нь чухал юм.

№5 Zhenhua тоос сорогчийн TGV шилэн PVD бүрэх төхөөрөмжийн шийдэл – Хэвтээ бүрэх шугаман бүрэх

Тоног төхөөрөмжийн давуу талууд:
1. Шилэн нүхээр металлжуулах онцгой технологи
Zhenhua Vacuum-ийн өмчийн Шилэн Нүхээр Металлжих Бүрэх технологи нь 30 микрон хүртэлх жижиг нүхэнд ч гэсэн 10:1 хүртэлх харьцаатай шилэн нүхийг боловсруулах боломжтой.

2. Өөр өөр хэмжээтэй тохируулж болно
600×600мм, 510×515мм ба түүнээс дээш хэмжээтэй янз бүрийн хэмжээтэй шилэн суурь хавтангуудыг дэмждэг.

3. Үйл явцын уян хатан байдал
Cu, Ti, W, Ni, Pt зэрэг дамжуулагч эсвэл ажиллагаатай нимгэн хальсан материалуудтай нийцтэй бөгөөд цахилгаан дамжуулах чанар болон зэврэлтээс хамгаалах олон төрлийн хэрэглээний шаардлагыг хангадаг.

4. Тогтвортой гүйцэтгэл болон хялбар засвар үйлчилгээ
Хальсны зузааны жигд байдлыг автоматаар тохируулах, бодит цагийн хяналт хийх ухаалаг удирдлагын системээр тоноглогдсон. Модульчлагдсан дизайн нь засвар үйлчилгээг хялбарчилж, ашиглалтын хугацааг багасгадаг.

Хэрэглэх хүрээ: TGV/TSV/TMV дэвшилтэт савлагаанд тохиромжтой, нүхний гүний харьцаа ≥ 10:1 бүхий нүхний үрийн давхаргын бүрхүүлийг бий болгож чадна.

-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнTGV Нүхээр дамжин өнгөлөх шилэн бүрхүүлийн машин үйлдвэрлэгчЖэнхуа тоос сорогч