TGV 유리 관통 구멍 코팅 기술 개요 (1위)
TGV 유리 관통 구멍 코팅 TGV(Through Hole)는 유리 기판에 관통 구멍을 만들고 내부 벽면을 금속화하여 고밀도 전기 연결을 구현하는 새로운 마이크로 전자 패키징 기술입니다. 기존의 TSV(Through Silicon Via) 및 유기 기판과 비교하여 TGV 유리는 낮은 신호 손실, 높은 투명도, 뛰어난 열 안정성과 같은 장점을 제공합니다. 이러한 특성 덕분에 TGV는 5G 통신, 광전자 패키징, MEMS 센서 등 다양한 분야에 적용 가능합니다.
2. 시장 전망: TGV 유리 제품이 주목받는 이유는 무엇일까요?
고주파 통신, 광전자 집적화 및 첨단 패키징 기술의 급속한 발전으로 TGV 유리 수요가 꾸준히 증가하고 있습니다.
5G 및 밀리미터파 통신: TGV 유리의 낮은 손실 특성은 안테나 및 필터와 같은 고주파 RF 장치에 이상적입니다.
광전자 패키징: 유리의 높은 투명도는 실리콘 포토닉스 및 LiDAR와 같은 응용 분야에 유리합니다.
MEMS 센서 패키징: TGV 유리는 고밀도 상호 연결을 가능하게 하여 센서의 소형화 및 성능을 향상시킵니다.
첨단 반도체 패키징: 칩렛 기술의 발전과 함께 TGV 유리 기판은 고밀도 패키징 분야에서 상당한 잠재력을 지니고 있습니다.
3번 TGV 유리 PVD 코팅 상세 공정
TGV 유리 PVD 코팅의 금속화 공정은 전기적 상호 연결을 위해 비아의 내벽에 전도성 물질을 증착하는 것을 포함합니다. 일반적인 공정 흐름은 다음과 같습니다.
1. TGV 유리 관통 구멍 형성: 레이저 드릴링(UV/CO₂ 레이저), 습식 에칭 또는 건식 에칭을 사용하여 TGV 비아를 생성한 후 세척합니다.
2. 표면 처리: 플라즈마 또는 화학 처리를 통해 유리와 금속화층 사이의 접착력을 향상시킵니다.
3. 시드층 증착: PVD(물리 기상 증착) 또는 CVD(화학 기상 증착)를 사용하여 유리 관통 구멍 벽에 금속 시드층(예: 구리, 티타늄/구리, 팔라듐)을 증착합니다.
4. 전기 도금: 전기 도금을 통해 시드층 위에 전도성 구리를 증착하여 저저항 상호 연결을 구현합니다.
5. 후처리: 과도한 금속을 제거하고 표면 부동태화를 수행하여 신뢰성을 향상시킵니다.
4. 공정상의 어려움: TGV 유리 심공 코팅 장비의 과제
유망한 전망에도 불구하고, TGV 유리 심공 코팅기는 몇 가지 기술적 과제에 직면해 있습니다.
1. TGV 유리 심공 코팅의 균일성: 높은 종횡비(5:1~10:1)를 갖는 유리 심공은 종종 비아 입구에 금속이 축적되고 바닥 부분에 충전이 불충분한 문제가 발생합니다.
2. 시드층 증착: 유리는 절연체이므로 비아 벽에 고품질 전도성 시드층을 증착하는 것이 어렵습니다.
3. 응력 제어: 금속과 유리의 열팽창 계수 차이로 인해 뒤틀림이나 균열이 발생할 수 있습니다.
4. 유리 심공 코팅층의 접착력: 유리의 매끄러운 표면으로 인해 금속 접착력이 약해 최적화된 표면 처리 공정이 필요합니다.
5. 대량 생산 및 비용 관리: 금속화 효율을 개선하고 비용을 절감하는 것은 TGV 기술의 상용화에 매우 중요합니다.
5번, 젠화 진공(Zhenhua Vacuum)의 TGV 유리 PVD 코팅 장비 솔루션 – 수평형 인라인 코팅기
장비의 장점:
1. 독점적인 유리 관통 구멍 금속화 코팅 기술
젠화 진공(Zhenhua Vacuum)의 독자적인 유리 관통 구멍 금속화 코팅 기술은 30미크론만큼 작은 미세 구멍에서도 최대 10:1의 종횡비를 가진 유리 관통 구멍을 처리할 수 있습니다.
2. 다양한 크기로 맞춤 제작 가능
600×600mm, 510×515mm 또는 그 이상의 다양한 크기의 유리 기판을 지원합니다.
3. 프로세스 유연성
Cu, Ti, W, Ni, Pt와 같은 전도성 또는 기능성 박막 소재와 호환되어 전도성 및 내식성에 대한 다양한 응용 분야 요구 사항을 충족합니다.
4. 안정적인 성능 및 손쉬운 유지보수
지능형 제어 시스템을 탑재하여 파라미터를 자동으로 조정하고 도막 두께 균일성을 실시간으로 모니터링합니다. 모듈식 설계로 유지보수가 용이하고 가동 중지 시간을 줄였습니다.
적용 범위: TGV/TSV/TMV 고급 패키징에 적합하며, 홀 깊이 비율이 10:1 이상인 관통형 시드층 코팅을 구현할 수 있습니다.
이 기사는 다음에서 발표했습니다.TGV 유리 관통 코팅기 제조업체진화 진공
게시 시간: 2025년 3월 7일