Шарҳи технологияи рӯйпӯшкунии шишаи тавассути сӯрохи TGV №1
Рӯйпӯши сӯрохии шишаи TGV як технологияи нави бастабандии микроэлектронӣ аст, ки эҷоди сӯрохиҳои гузаранда дар субстратҳои шишагӣ ва металлизатсияи деворҳои дарунии онҳоро барои ба даст овардани пайвастҳои барқии зичии баланд дар бар мегирад. Дар муқоиса бо субстратҳои анъанавии TSV (Through Silicon Via) ва органикӣ, шишаи TGV бартариҳои ба монанди талафоти ками сигнал, шаффофияти баланд ва устувории аълои гармиро пешниҳод мекунад. Ин хосиятҳо TGV-ро барои истифода дар алоқаи 5G, бастабандии оптоэлектронӣ, сенсорҳои MEMS ва ғайра мувофиқ мегардонанд.
Дурнамои бозори №2: Чаро шишаи TGV таваҷҷӯҳро ба худ ҷалб мекунад?
Бо рушди босуръати алоқаи басомади баланд, ҳамгироии оптоэлектронӣ ва технологияҳои пешрафтаи бастабандӣ, талабот ба шишаи TGV мунтазам афзоиш меёбад:
5G ва алоқаи мавҷи миллиметрӣ: Хусусиятҳои камталафи шишаи TGV онро барои дастгоҳҳои басомади баланди RF, ба монанди антеннаҳо ва филтрҳо, беҳтарин мегардонад.
Бастабандии оптоэлектронӣ: Шаффофияти баланди шиша барои барномаҳо ба монанди фотоникаи силикон ва LiDAR муфид аст.
Бастабандии сенсорҳои MEMS: Шишаи TGV имкон медиҳад, ки пайвастҳои зичии баланд ба вуҷуд оянд ва миниатюризатсия ва кори сенсорҳоро беҳтар созанд.
Бастабандии пешрафтаи нимноқилҳо: Бо рушди технологияи Chiplet, субстратҳои шишагии TGV дар бастабандии зичии баланд потенсиали назаррас доранд.
Раванди муфассали пӯшонидани шишаи TGV PVD №3
Метализатсияи рӯйпӯши TGV Glass PVD аз гузоштани маводҳои ноқилӣ дар деворҳои дарунии виасҳо барои ба даст овардани пайвастҳои барқӣ иборат аст. Раванди маъмулии раванд инҳоро дар бар мегирад:
1. Ташаккули сӯрохиҳои шишаи TGV: Барои сохтани TGV vias, пармакунии лазерӣ (лазерҳои UV/CO₂), кандакории тар ё кандакории хушк истифода мешавад ва баъдан тоза карда мешавад.
2. Коркарди сатҳӣ: Барои беҳтар кардани часпакӣ байни шиша ва қабати металлизатсия коркарди плазмавӣ ё кимиёвӣ истифода мешавад.
3. Ҷойгиркунии қабати тухмӣ: PVD (Ҷойгиркунии буғи физикӣ) ё CVD (Ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ) барои ҷойгир кардани қабати тухмии металлӣ (масалан, мис, титан/мис, палладий) дар деворҳои сӯрохиҳои шиша истифода мешавад.
4. Электроплиткунӣ: Миси ноқилӣ тавассути электроплиткунӣ ба қабати тухмӣ гузошта мешавад, то пайвастҳои пастмуқовимат ба даст оварда шаванд.
5. Пас аз коркард: Металли зиёдатӣ хориҷ карда мешавад ва барои беҳтар кардани эътимоднокӣ пассиватсияи сатҳӣ анҷом дода мешавад.
Мушкилоти раванди №4: Мушкилоти мошини рӯйпӯшкунии сӯрохиҳои амиқ бо шишаи TGV
Бо вуҷуди дурнамои умедбахши худ, мошини рӯйпӯшкунии шишаи TGV бо сӯрохиҳои чуқур бо якчанд мушкилоти техникӣ рӯбарӯ мешавад:
1. Яксонии рӯйпӯши сӯрохии амиқ бо шишаи TGV: Сӯрохии амиқ бо таносуби баланди тарафҳо (аз 5:1 то 10:1) аксар вақт аз ҷамъшавии металл дар даромадгоҳи сӯрох ва пуркунии нокифоя дар поён азият мекашад.
2. Ҷойгиркунии қабати тухмӣ: Шиша изолятор аст, ки ҷойгиркунии қабати тухмии баландсифатро дар деворҳои гузаранда душвор мегардонад.
3. Назорати фишор: Тафовут дар коэффитсиентҳои васеъшавии гармии металл ва шиша метавонад боиси каҷшавӣ ё кафидан гардад.
4. Часпидани қабатҳои рӯйпӯши шиша бо сӯрохиҳои амиқ: Сатҳи ҳамвори шиша боиси часпиши сусти металл мегардад, ки равандҳои коркарди оптимизатсияшудаи сатҳро талаб мекунад.
5. Истеҳсоли оммавӣ ва назорати хароҷот: Беҳтар кардани самаранокии металлизатсия ва кам кардани хароҷот барои тиҷоратикунонии технологияи TGV муҳиманд.
Ҳалли таҷҳизоти рӯйпӯшкунии шишаи TGV PVD аз чангкашаки №5 Zhenhua - рӯйпӯшкунии уфуқӣ дар хатти
Бартариятҳои таҷҳизот:
1. Технологияи истисноии рӯйпӯшкунии металлизатсияи шиша тавассути сӯрох
Технологияи рӯйпӯшкунии металлизатсияи шишаи тавассути сӯрох, ки аз ҷониби Zhenhua Vacuum истеҳсол шудааст, метавонад бо шишаи тавассути сӯрох бо таносуби то 10:1, ҳатто барои сӯрохиҳои хурди то 30 микрон, кор кунад.
2. Барои андозаҳои гуногун танзимшаванда
Субстратҳои шишагии андозаҳои гуногун, аз ҷумла 600 × 600 мм, 510 × 515 мм ё калонтарро дастгирӣ мекунад.
3. Чандирии раванд
Мутобиқ бо маводҳои плёнкаи тунуки гузаронанда ё функсионалӣ ба монанди Cu, Ti, W, Ni ва Pt, ки ба талаботи гуногуни татбиқӣ барои гузаронандагӣ ва муқовимат ба зангзанӣ ҷавобгӯ мебошанд.
4. Иҷрои устувор ва нигоҳдории осон
Бо системаи идоракунии интеллектуалӣ барои танзими автоматии параметрҳо ва мониторинги якрангии ғафсии плёнка дар вақти воқеӣ муҷаҳҳаз шудааст. Тарҳи модулӣ нигоҳдории осон ва кам шудани вақти бекористиро таъмин мекунад.
Доираи татбиқ: Барои бастабандии пешрафтаи TGV/TSV/TMV мувофиқ аст, он метавонад пӯшиши қабати тухмиро тавассути сӯрохиҳо бо таносуби умқи сӯрох ≥ 10:1 ба даст орад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастИстеҳсолкунандаи мошини рӯйпӯшкунии шиша тавассути сӯрохи TGVЧангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 07.03.2025