Welina mai iā Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
hae_hoʻokahi

ʻO ka ʻenehana uhi ʻana o TGV Glass Through Hole: Nā manaʻolana mākeke a me nā pilikia hana

Puna ʻatikala: Zhenhua vacuum
Heluhelu:10
Paʻi ʻia:25-03-07

ʻIkepili ʻenehana uhi aniani TGV ma o nā puka 1
Uhi ʻana o ke aniani TGV ma o nā puka he ʻenehana hoʻopili microelectronic e kū mai ana e pili ana i ka hana ʻana i nā lua ma loko o nā substrates aniani a me ka metallizing i ko lākou mau paia o loko e hoʻokō ai i nā pilina uila kiʻekiʻe. Ke hoʻohālikelike ʻia me ka TSV kuʻuna (Through Silicon Via) a me nā substrates organik, hāʻawi ke aniani TGV i nā pono e like me ka nalowale hōʻailona haʻahaʻa, ka transparency kiʻekiʻe, a me ke kūpaʻa wela maikaʻi loa. ʻO kēia mau waiwai e kūpono ai ʻo TGV no nā noi ma ke kamaʻilio 5G, ka hoʻopili optoelectronic, nā sensor MEMS, a me nā mea hou aku.

Nā Manaʻolana Mākeke Helu 2: No ke aha e loaʻa ai ka nānā ʻana iā TGV Glass?
Me ka wikiwiki o ka hoʻomohala ʻana o ke kamaʻilio alapine kiʻekiʻe, ka hoʻohui optoelectronic, a me nā ʻenehana hoʻopili holomua, ke piʻi mau nei ke koi no ke aniani TGV:

5G a me ke kamaʻilio ʻana me ka Millimeter-Wave: ʻO nā ʻano pohō haʻahaʻa o ke aniani TGV e kūpono ia no nā polokalamu RF alapine kiʻekiʻe e like me nā antennas a me nā kānana.

ʻŌpala Optoelectronic: He mea maikaʻi ke ʻano moakaka kiʻekiʻe o ke aniani no nā noi e like me ka silicon photonics a me LiDAR.

Pūʻolo ʻIke MEMS: Hiki i ke aniani TGV ke hoʻopili i nā pilina paʻa kiʻekiʻe, e hoʻonui ana i ka miniaturization a me ka hana o nā mea ʻike.

ʻŌpala Semiconductor Kiʻekiʻe: Me ka piʻi ʻana o ka ʻenehana Chiplet, loaʻa i nā substrates aniani TGV ka mana koʻikoʻi i ka ʻōpala kiʻekiʻe.

Kaʻina Hana Kikoʻī o ka Uhi ʻana o ka PVD Glass TGV No.3
ʻO ka metallization o TGV Glass PVD Coating e pili ana i ke kau ʻana i nā mea conductive ma nā paia o loko o nā vias e hoʻokō ai i nā pilina uila. ʻO ke kaʻina hana maʻamau e komo pū ana me:

1. Hoʻokumu ʻana i ke aniani ma o ka lua TGV: Hoʻohana ʻia ka ʻeli laser (nā lasers UV/CO₂), ke kālai pulu, a i ʻole ke kālai maloʻo e hana i nā vias TGV, a ukali ʻia e ka hoʻomaʻemaʻe ʻana.

2. Ka Lapaʻau ʻIli: Hoʻopili ʻia ka lapaʻau plasma a i ʻole kemika e hoʻoikaika i ka hoʻopili ʻana ma waena o ke aniani a me ka papa metallization.

3. Ka Waiho ʻana o ka Papa Hua: Hoʻohana ʻia ka PVD (Physical Vapor Deposition) a i ʻole CVD (Chemical Vapor Deposition) e waiho i kahi papa hua metala (e laʻa, keleawe, titanium/keleawe, palladium) ma ke aniani ma o nā paia lua.

4. Electroplating: Hoʻokomo ʻia ke keleawe conductive ma ka papa hua ma o ka electroplating e hoʻokō ai i nā pilina haʻahaʻa haʻahaʻa.

5. Ma hope o ka mālama ʻana: Hoʻoneʻe ʻia ka metala keu, a hana ʻia ka passivation o ka ʻili e hoʻomaikaʻi i ka hilinaʻi.

 

Nā Pilikia Hana No.4: Nā Pilikia o ka Mīkini Uhi ʻana i ka Lua Hohonu o ke Aniani TGV

ʻOiai kona mau manaʻolana hoʻohiki, ke kū nei ʻo TGV Glass Deep Hole Coating Machine i kekahi mau pilikia loea:

1. ʻO ke ʻano like o ka uhi ʻana o ka puka hohonu aniani TGV: ʻO nā puka hohonu aniani me nā lakio hiʻohiʻona kiʻekiʻe (5:1 a 10:1) e ʻeha pinepine ana i ka hōʻiliʻili ʻana o ka metala ma ke komo ʻana o ke ala a me ka hoʻopiha lawa ʻole ma lalo.

2. Ka Waiho ʻana o ka Papa Hua: He mea hoʻokaʻawale ka aniani, e paʻakikī ai ke waiho ʻana i kahi papa hua alakaʻi kiʻekiʻe ma nā paia via.
3. Ka Mana ʻana i ke Koʻikoʻi: ʻO nā ʻokoʻa o nā coefficients hoʻonui wela o ka metala a me ke aniani hiki ke alakaʻi i ka warping a i ʻole ka nahā ʻana.

4. Hoʻopili ʻia o nā papa uhi puka hohonu o ke aniani: ʻO ka ʻili laumania o ke aniani ka hopena o ka hoʻopili ʻana o ka metala nāwaliwali, e pono ai nā kaʻina hana mālama ʻili i hoʻomaikaʻi ʻia.

5. Hana Nui a me ka Mana ʻana i nā Kumukūʻai: ʻO ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka pono o ka metallization a me ka hōʻemi ʻana i nā kumukūʻai he mea koʻikoʻi ia no ke kālepa ʻana o ka ʻenehana TGV.

 

ʻO ka No.5 Zhenhua Vacuum's TGV Glass PVD Coating Equipment Solution - Horizontal Coating In-line Coater

TGV-1

Nā Pono Lako:
1. ʻenehana uhi metallization aniani ma o nā puka kū hoʻokahi
Hiki i ka ʻenehana Glass Through-Hole Metallization Coating ponoʻī a Zhenhua Vacuum ke lawelawe i ke Glass Through-Hole me nā lakio hiʻohiʻona a hiki i ka 10:1, ʻoiai no nā puka liʻiliʻi e like me 30 microns.

2. Hiki ke hoʻopilikino ʻia no nā nui like ʻole
Kākoʻo i nā substrates aniani o nā nui like ʻole, me 600 × 600mm, 510 × 515mm, a ʻoi aku paha.

3. Ka Hoʻololi ʻana o ke Kaʻina Hana
Kūlike me nā mea ʻili lahilahi conductive a hana paha e like me Cu, Ti, W, Ni, a me Pt, e hoʻokō ana i nā koi noi like ʻole no ke kūpaʻa conductivity a me ka corrosion.

4. Hana Paʻa a me ka Mālama Maʻalahi
Hoʻolako ʻia me kahi ʻōnaehana hoʻomalu akamai no ka hoʻoponopono ʻakomi ʻana i nā palena a me ka nānā ʻana i ka like ʻana o ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni i ka manawa maoli. Hōʻoia ka hoʻolālā modular i ka mālama maʻalahi a me ka hoʻemi ʻana i ka manawa downtime.

Ka laulā o ka noi: Kūpono no ka hoʻopili ʻana o TGV/TSV/TMV, hiki iā ia ke hoʻokō i ka uhi ʻana o ka papa hua ma o ka lua me ka lakio hohonu o ka lua ≥ 10:1.

–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala eMea Hana Mīkini Uhi Aniani ma o nā Hole TGVʻO Zhenhua Vacuum


Ka manawa hoʻouna: Malaki-07-2025