Àkópọ̀ Ìmọ̀-ẹ̀rọ Ìbòmọ́lẹ̀ Gíláàsì TGV Nọ́mbà 1
Àwọ̀ Gíláàsì TGV Láti Ihò jẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìpamọ́ microelectronic tó ń jáde wá tó ní í ṣe pẹ̀lú ṣíṣẹ̀dá àwọn ihò nínú àwọn ohun èlò dígí àti ṣíṣe irin àwọn ògiri inú wọn láti ṣàṣeyọrí àwọn ìsopọ̀mọ́ra iná mànàmáná tó ga. Ní ìfiwéra pẹ̀lú TSV àti àwọn ohun èlò oníṣọ̀nà, gilasi TGV ní àwọn àǹfààní bíi pípadánù àmì ìfàmọ́ra díẹ̀, ìfarahàn gíga, àti ìdúróṣinṣin ooru tó dára. Àwọn ànímọ́ wọ̀nyí mú kí TGV dára fún lílò nínú ìbánisọ̀rọ̀ 5G, ìpamọ́ optoelectronic, àwọn sensọ MEMS, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Àǹfààní Ọjà No.2: Kí ló dé tí Gíláàsì TGV fi ń gba àfiyèsí?
Pẹlu idagbasoke iyara ti ibaraẹnisọrọ igbohunsafẹfẹ giga, isọdọkan optoelectronic, ati awọn imọ-ẹrọ iṣakojọpọ ilọsiwaju, ibeere fun gilasi TGV n pọ si ni imurasilẹ:
Ìbánisọ̀rọ̀ 5G àti Millimeta-Wave: Àwọn ànímọ́ pípadánù díẹ̀ ti gilasi TGV mú kí ó dára fún àwọn ẹ̀rọ RF onígbà gíga bíi eriali àti àwọn àlẹ̀mọ́.
Apoti Optoelectronic: Iṣipaya giga ti gilasi jẹ anfani fun awọn ohun elo bii silicon photonics ati LiDAR.
Àkójọpọ̀ Sensọ MEMS: Gilasi TGV ń mú kí àwọn ìsopọ̀pọ̀ onípele gíga pọ̀ sí i, ó sì ń mú kí iṣẹ́ àwọn sensọ dínkù sí i.
Àkójọpọ̀ Semiconductor Tó Tẹ̀síwájú: Pẹ̀lú ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ Chiplet, àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ gilasi TGV ní agbára pàtàkì nínú àkójọpọ̀ oníwọ̀n gíga.
No.3 TGV Gilasi PVD Aṣọ Alaye Ilana
Ṣíṣe àtúnṣe TGV Glass PVD Coating níí ṣe pẹ̀lú fífi àwọn ohun èlò amúlétutù sí àwọn ògiri inú àwọn vias láti ṣe àṣeyọrí ìsopọ̀ iná mànàmáná. Ìṣàn iṣẹ́ tí ó wọ́pọ̀ ní nínú:
1. Ìṣẹ̀dá Gíláàsì TGV Láti Inú Ihò: A lo ọ̀nà ìwakọ̀ léésà (líṣà UV/CO₂), ìwakọ̀ tí a fi omi rọ̀, tàbí ìwakọ̀ gbígbẹ láti ṣẹ̀dá àwọn ọ̀nà TGV, lẹ́yìn náà ni a ń lò ó láti fọ̀ ọ́ mọ́.
2. Ìtọ́jú ojú ilẹ̀: A máa ń lo ìtọ́jú plasma tàbí kẹ́míkà láti mú kí ìsopọ̀ tó wà láàárín dígí náà àti ìpele irin pọ̀ sí i.
3. Ìfipamọ́ Fọ́tò Irugbin: A lo PVD (Ìfipamọ́ Fọ́tò Afẹ́fẹ́ Tí Ó Wà Nínú Ara) tàbí CVD (Ìfipamọ́ Fọ́tò Kemikali) láti fi ìpele irúgbìn irin (fún àpẹẹrẹ, bàbà, titanium/copper, palladium) sí orí dígí náà nípasẹ̀ àwọn ògiri ihò.
4. Ìtẹ̀síwájú Ẹ̀rọ: A máa ń fi bàbà onídàgba sí orí ìpele irúgbìn nípasẹ̀ ìtẹ̀síwájú ẹ̀rọ láti lè ní ìsopọ̀ tí kò lágbára.
5. Lẹ́yìn ìtọ́jú: A máa yọ irin tó pọ̀ jù kúrò, a sì máa ń ṣe ìfọ́mọ́ra ojú ilẹ̀ láti mú kí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé.
Awọn Ipenija Ilana No.4: Awọn Ipenija ti Ẹrọ Ti a Fi Ibora Gilasi TGV
Láìka àwọn àǹfààní tó ní, TGV Glass Deep Hole Coating Machine dojúkọ ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìpèníjà ìmọ̀-ẹ̀rọ:
1. Ìṣọ̀kan ti Àwọ̀ Gíláàsì TGV: Ihò Jíjìn Gilasi pẹlu awọn ipin apa giga (5:1 si 10:1) nigbagbogbo n jiya lati ikojọpọ irin ni ẹnu ọna nipasẹ ati pe ko to kikun ni isalẹ.
2. Ìfipamọ́ Fọ́tò Irugbin: Gíláàsì jẹ́ ohun ìdènà, èyí tó mú kí ó ṣòro láti fi fọ́ọ̀mù irúgbìn tó dára tó ń darí sí orí àwọn ògiri.
3. Ìṣàkóso Wahala: Àwọn ìyàtọ̀ nínú àwọn ìwọ̀n ìfẹ̀sí ooru ti irin àti dígí lè yọrí sí yíyípo tàbí fífọ́.
4. Lílo àwọn Fíìmù ìbòrí ihò jíjìn nínú Gilasi: Ojú dídín tí gilasi náà ń mú kí irin dì mọ́ ara rẹ̀ dáadáa, èyí sì ń mú kí iṣẹ́ ìtọ́jú ojú ilẹ̀ dára sí i.
5. Ìṣẹ̀dá àti Ìṣàkóso Owó: Mímú kí iṣẹ́ lílo irin pọ̀ sí i àti dín owó kù ṣe pàtàkì fún títà ọjà ìmọ̀ ẹ̀rọ TGV.
Ojútùú Ohun Èlò Ìbòrí Gíláàsì TGV PVD ti Zhenhua Vacuum No.5 – Ìbòrí Gíláàsì PVD tí a fi ń bo ìrólé
Awọn anfani Ẹrọ:
1. Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìbòrí gilasi tí ó yàtọ̀ síra nípasẹ̀ ihò
Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìṣàtúnṣe Glass Through-Hole Metallization Coating ti Zhenhua Vacuum le ṣe àkóso Glass Through-Hole pẹ̀lú àwọn ìpíndọ́gba aspect tó tó 10:1, kódà fún àwọn ihò kéékèèké tó kéré tó 30 microns.
2. A le ṣe adani fun awọn titobi oriṣiriṣi
Ṣe atilẹyin fun awọn ipilẹ gilasi ti o yatọ si awọn titobi, pẹlu 600×600mm, 510×515mm, tabi tobi ju.
3. Irọrun ilana
Baamu pẹlu awọn ohun elo tinrin tinrin ti o n ṣe adaṣe tabi ti o wulo bi Cu, Ti, W, Ni, ati Pt, ti o pade awọn ibeere lilo oriṣiriṣi fun agbara adaṣe ati resistance ipata.
4. Iṣẹ́ tó dúró ṣinṣin àti ìtọ́jú tó rọrùn
A ti pese eto iṣakoso ọlọgbọn fun atunṣe awọn paramita laifọwọyi ati abojuto akoko gidi ti ibamu sisanra fiimu naa. Apẹrẹ modulu rii daju pe o rọrun lati ṣe itọju ati dinku akoko isinmi.
Àkójọ Ohun Èlò: Ó yẹ fún àkójọ TGV/TSV/TMV tó ti ní ìlọsíwájú, ó lè ṣe àṣeyọrí ìbòrí irúgbìn oníhò pẹ̀lú ìpíndọ́gba jíjìn ihò ≥ 10:1.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́Olùpèsè Ẹ̀rọ Tí A Fi Gíláàsì TGV ṢeẸ̀rọ ìfọṣọ Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-07-2025