Deşik örtük tehnologiýasy arkaly TGV aýna: Bazaryň geljegi we proses kynçylyklary

Deşik örtük tehnologiýasy arkaly syn
Deşik örtügi arkaly TGV aýna aýna substratlarda deşik açmagy we ýokary dykyzlykly elektrik baglanyşyklaryny gazanmak üçin içki diwarlaryny metallaşdyrmagy öz içine alýan mikroelektron gaplaýyş tehnologiýasydyr. Adaty TSV (Silikon arkaly) we organiki substratlar bilen deňeşdirilende, TGV aýnasy pes signalyň ýitmegi, ýokary aç-açanlyk we ajaýyp ýylylyk durnuklylygy ýaly artykmaçlyklary hödürleýär. Bu häsiýetler TGV-ni 5G aragatnaşygy, optoelektroniki gaplama, MEMS datçikleri we başgalar üçin amatly edýär.

2-nji bazaryň geljegi: Näme üçin TGV aýnasy ünsi özüne çekýär?
Frequokary ýygylykly aragatnaşyk, optoelektron integrasiýa we ösen gaplama tehnologiýalarynyň çalt ösmegi bilen TGV aýnasyna bolan isleg yzygiderli artýar:

5G we millimetr-tolkun aragatnaşygy: TGV aýnasynyň pes ýitgi aýratynlyklary, antenalar we süzgüçler ýaly ýokary ýygylykly RF enjamlary üçin ideal edýär.

Optoelektron gaplama: Aýnanyň ýokary aýdyňlygy kremniniň fotonikasy we LiDAR ýaly programmalar üçin amatlydyr.

MEMS datçik gaplamasy: TGV aýna ýokary dykyzlykly baglanyşyklary üpjün edýär, datçikleriň miniatýurizasiýasyny we işleýşini güýçlendirýär.

Ösen ýarymgeçiriji gaplama: Çiplet tehnologiýasynyň ösmegi bilen TGV aýna substratlary ýokary dykyzlykly gaplamalarda möhüm potensiala eýe.

.33 TGV aýna PVD örtük jikme-jik amal
TGV aýna PVD örtüginiň metallaşdyrylmagy, elektrik baglanyşyklaryny gazanmak üçin geçirijiniň içki diwarlaryna geçiriji materiallary goýmagy göz öňünde tutýar. Adaty proses akymy aşakdakylary öz içine alýar:

1. Deşik emele gelmek arkaly TGV aýna: Lazer burawlamak (UV / CO₂ lazerleri), çygly eriş ýa-da gury eriş TGV wialaryny döretmek üçin ulanylýar, soň bolsa arassalanýar.

2. faceerüsti bejermek: Aýna bilen metallaşma gatlagynyň arasyndaky ýapyşmagy güýçlendirmek üçin plazma ýa-da himiki bejergisi ulanylýar.

3. Tohum gatlagynyň çöketligi: PVD (Fiziki bug çöketligi) ýa-da CVD (Himiki bug buglanyşy) demir tohum gatlagyny (mysal üçin, mis, titanium / mis, palladim) aýna deşik diwarlary arkaly goýmak üçin ulanylýar.

4. Elektroplatasiýa: Pes garşylykly baglanyşyklara ýetmek üçin geçiriji mis tohum gatlagyna elektroplatirlemek arkaly goýulýar.

5. Bejergiden soň: Artykmaç metal aýrylýar we ygtybarlylygy ýokarlandyrmak üçin ýerüsti passiwasiýa edilýär.

.44 Amal kynçylyklary: TGV aýna çuň deşik örtük maşynynyň kynçylyklary

Geljegi uly geljegine garamazdan, TGV aýna çuň deşik örtük enjamy birnäçe tehniki kynçylyk bilen ýüzbe-ýüz bolýar:

1. TGV aýna çuň deşik örtüginiň birmeňzeşligi: ýokary derejeli gatnaşygy bolan aýna çuň deşik (5: 1 bilen 10: 1) köplenç girelgäniň üsti bilen metal ýygnanmagyndan we aşaky böleginde ýeterlik däl doldurmakdan ejir çekýär.

2. Tohum gatlagynyň goýulmagy: Aýna izolýator bolup, diwarlaryň üsti bilen ýokary hilli geçiriji tohum gatlagyny goýmagy kynlaşdyrýar.
3. Stress gözegçiligi: Metalyň we aýnanyň ýylylyk giňelme koeffisiýentleriniň arasyndaky tapawutlar çişmegine ýa-da ýarylmagyna sebäp bolup biler.

4.

5. Köpçülikleýin önümçilik we çykdajylara gözegçilik: Metallizasiýa netijeliligini ýokarlandyrmak we çykdajylary azaltmak TGV tehnologiýasynyň täjirleşdirilmegi üçin möhümdir.

.55 Zhenhua Wakuumyň TGV aýna PVD örtük enjamlarynyň çözgüdi - Gorizontal örtük Içerki örtük

Enjamyň artykmaçlyklary:
1. Deşikli metallaşdyrma örtük tehnologiýasy arkaly aýratyn aýna
“Zhenhua Wakuum” -yň eýeçiligindäki aýna, “Deşikden metallaşdyrma örtük tehnologiýasy”, aýnany “Hole” -den 10: 1 çenli nisbatlary bilen dolandyryp bilýär, hatda 30 mikron ýaly kiçijik duralgalarda-da.

2. Dürli ululyklar üçin düzülip bilner
600 × 600mm, 510 × 515mm ýa-da has uly ölçegdäki aýna substratlary goldaýar.

3. Çeýeligiň prosesi
Geçirijilik we poslama garşylyk üçin dürli amaly talaplara laýyk gelýän Cu, Ti, W, Ni we Pt ýaly geçiriji ýa-da işleýän inçe film materiallary bilen utgaşykly.

4. Durnukly öndürijilik we aňsat hyzmat
Awtomatiki parametrleri sazlamak we filmiň galyňlygynyň birmeňzeşligine real wagt gözegçilik etmek üçin akylly dolandyryş ulgamy bilen enjamlaşdyryldy. Modully dizaýn aňsat tehniki hyzmaty we iş wagtynyň azalmagyny üpjün edýär.

Programmanyň gerimi: TGV / TSV / TMV ösen gaplama üçin amatly, deşik çuňlugy gatnaşygy ≥ 10: 1 bolan deşik tohum gatlagynyň örtügine ýetip biler.

IsBu makala çap edildiDeşik örtük maşyn öndürijisiniň üsti bilen TGV aýnaZhenhua Wakuum