1. Ion şöhlesi kömegi bilen çökdürmek, esasan, materiallaryň ýüzüni üýtgetmäge kömek etmek üçin pes energiýaly ion şöhlelerini ulanýar.
(1) Ion kömegi bilen çökdürilmegiň häsiýetnamalary
Örtük prosesiniň dowamynda, çökdürilen plýonka bölejikleri zarýadly ion şöhleleri bilen örtülen mahaly, substratyň ýüzündäki ion çeşmesinden zarýadly ionlar tarapyndan yzygiderli bombardman edilýär.
(2) Ion kömegi bilen çökdürilmegiň roly
Ýokary energiýaly ionlar islendik wagt boş baglanyşykly plýonka bölejiklerini bombalaýar; Energiýany geçirmek arkaly ýerleşdirilen bölejikler has uly kinetik energiýa alýarlar, şeýdip ýadrolaşma we ösüş kanunyny gowulandyrýarlar; Islendik wagt membrana dokumasyna gysyşma täsirini döredýärler, bu bolsa plýonkanyň has dykyz ösmegine getirýär; Eger reaktiw gaz ionlary inýeksiýa edilse, materialyň ýüzünde stehiometrik birleşme gatlagy emele gelip biler we birleşme gatlagy bilen substratyň arasynda hiç hili serhet ýok.
2. Ion şöhlesi kömegi bilen çökdürmek üçin ion çeşmesi
Ion şöhlesi kömegi bilen çökdürmegiň häsiýeti, plyonka gatlagynyň atomlarynyň (çökdürme bölejikleriniň) substratyň ýüzündäki ion çeşmesinden pes energiýaly ionlar bilen yzygiderli bombardman edilmeginden ybarat bolup, plyonka gurluşyny örän dykyz edýär we plyonka gatlagynyň işini gowulandyrýar. Ion şöhlesiniň energiýasy E ≤ 500eV. Köp ulanylýan ion çeşmelerine: Kauffman ion çeşmesi, Hall ion çeşmesi, anod gatlagynyň ion çeşmesi, boş katodly Hall ion çeşmesi, radio ýygylykly ion çeşmesi we ş.m. girýär.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 30-njy iýuny