1. Иондық сәуле көмегімен тұндыру негізінен материалдардың беткі қабатын өзгертуге көмектесу үшін төмен энергиялы иондық сәулелерді пайдаланады.
(1) Иондық көмекші тұндырудың сипаттамалары
Қаптау процесінде тұндырылған пленка бөлшектері зарядталған иондық сәулелермен қапталған кезде субстрат бетіндегі ион көзінен зарядталған иондармен үздіксіз бомбаланады.
(2) Иондық көмекші тұндырудың рөлі
Жоғары энергиялы иондар кез келген уақытта бос байланысқан пленка бөлшектерін бомбалайды; Энергияны беру арқылы тұндырылған бөлшектер үлкен кинетикалық энергия алады, осылайша ядролану және өсу заңын жақсартады; Кез келген уақытта мембраналық тінге тығыздау әсерін тигізеді, бұл пленканың тығыздалуына әкеледі; Егер реактивті газ иондары енгізілсе, материалдың бетінде стехиометриялық қосылыс қабаты пайда болуы мүмкін, ал қосылыс қабаты мен субстрат арасында ешқандай интерфейс болмайды.
2. Иондық сәуле көмегімен тұндыру үшін ион көзі
Иондық сәуле көмегімен тұндырудың ерекшелігі - пленка қабатының атомдары (тұндырғыш бөлшектер) субстрат бетіндегі ион көзінен төмен энергиялы иондармен үздіксіз бомбаланады, бұл пленка құрылымын өте тығыз етеді және пленка қабатының өнімділігін жақсартады. Иондық сәуленің E энергиясы ≤ 500 эВ. Жиі қолданылатын ион көздеріне мыналар жатады: Кауфман ион көзі, Холл ион көзі, анод қабатының ион көзі, қуыс катодты Холл ион көзі, радиожиілік ион көзі және т.б.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 30 маусым