1. Ny fametrahana amin'ny alalan'ny taratra ion dia mampiasa taratra ion ambany angovo indrindra mba hanampiana amin'ny fanovana ny velaran'ny fitaovana.
(1) Toetran'ny fametrahana ionina
Mandritra ny fizotran'ny fanosorana, ireo poti-tsarimihetsika napetraka dia tototry ny ion misy fiampangana avy amin'ny loharanon'ny ion eo amin'ny velaran'ny substrate tsy an-kijanona sady rakotra taratra ion misy fiampangana.
(2) Ny anjara asan'ny fametrahana ionina
Mandona ireo poti-sarimihetsika mifatotra malalaka amin'ny fotoana rehetra ireo iôna angovo avo lenta; Amin'ny famindrana angovo, mahazo angovo kinetika bebe kokoa ireo poti-sarimihetsika napetraka, ka manatsara ny lalàn'ny nokleasiona sy ny fitomboana; Mamokatra fiantraikany amin'ny tavy membrane amin'ny fotoana rehetra, ka mahatonga ny sarimihetsika hitombo bebe kokoa; Raha ampidirina ireo iôna entona mihetsika, dia mety hiforona eo amin'ny velaran'ny fitaovana ny sosona fitambarana stoichiometrika, ary tsy misy fifandraisana eo amin'ny sosona fitambarana sy ny substrate.
2. Loharanon'ny ion ho an'ny fametrahana ny taratra ion
Ny toetran'ny fametrahana amin'ny alalan'ny taratra ion dia ny hoe ireo atôma amin'ny sosona sarimihetsika (poti-pametrahana) dia tototry ny ion-kery ambany avy amin'ny loharanon'ny ion eo amin'ny velaran'ny substrate tsy an-kijanona, ka mahatonga ny rafitry ny sarimihetsika ho matevina be ary manatsara ny fahombiazan'ny sosona sarimihetsika. Ny angovo E amin'ny taratra ion dia ≤ 500eV. Ireto avy ireo loharanon'ny ion ampiasaina matetika: Loharanon'ny ion Kauffman, Loharanon'ny ion Hall, Loharanon'ny ion sosona anode, Loharanon'ny ion Hall katoda poakaty, Loharanon'ny ion radio frequency, sns.
Fotoana fandefasana: 30 Jona 2023