Ntinye ion na-enyere aka na ntinye ion na obere ike isi iyi ion

1. Ndoputa nke ion na-enyere aka na-eji obere ion ike iji nyere aka na mgbanwe elu nke ihe.

(1) Àgwà nke ntinye aka nke ion

N'oge usoro mkpuchi ahụ, a na-eji ion ndị a na-ebuga n'elu isi iyi ion na-agbagharị ihe nkiri ndị a na-etinye n'ime ha mgbe niile, ebe a na-ekpuchi ha na ion ndị a na-ebuga n'ime ha.

(2) Ọrụ nke ntinye ion enyere aka

Ion ike dị elu na-awakpo ihe nkiri ndị a na-ejikọghị ọnụ n'oge ọ bụla; Site n'inyefe ike, ihe ndị a na-etinye na ha na-enweta ike kinetic ka ukwuu, si otú a na-eme ka iwu nke nucleation na uto ka mma; Mepụta mmetụta mkpakọ na anụ ahụ membrane n'oge ọ bụla, na-eme ka ihe nkiri ahụ too nke ọma; Ọ bụrụ na a gbanye ion gas reactive, enwere ike ịmepụta oyi akwa stoichiometric compound n'elu ihe ahụ, ọ dịghịkwa njikọ dị n'etiti oyi akwa compound na substrate.

2. Isi iyi ion maka ntinye aka nke ion beam

Ihe e ji mara ebe a na-etinye ion beam n'ime ihe mkpuchi ahụ bụ na atọm oyi akwa fim (ihe ndị na-ewepụta ihe) na-agbagharị mgbe niile site na obere ike ion sitere na isi iyi ion n'elu ihe mkpuchi ahụ, na-eme ka nhazi ihe nkiri ahụ dị oke oke ma na-eme ka arụmọrụ nke oyi akwa fim ahụ ka mma. Ike E nke ion beam bụ ≤ 500eV. Isi iyi ion ndị a na-ejikarị eme ihe gụnyere: isi iyi ion Kauffman, isi iyi ion Hall, isi iyi ion anode oyi akwa, cathode oghere Hall ion, isi iyi ion ugboro redio, wdg.