১. আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন প্রধানত পদার্থের পৃষ্ঠতল পরিবর্তনে সহায়তা করার জন্য কম শক্তির আয়ন বিম ব্যবহার করে।
(1) আয়ন সহায়ক অবক্ষেপণের বৈশিষ্ট্য
কোটিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে থাকা জমা হওয়া ফিল্ম কণাগুলোকে চার্জিত আয়ন রশ্মি দ্বারা আবৃত করার পাশাপাশি আয়ন উৎস থেকে আসা চার্জিত আয়ন দ্বারা ক্রমাগত আঘাত করা হয়।
(2) আয়ন সহায়ক অবক্ষেপণের ভূমিকা
উচ্চ শক্তির আয়ন যেকোনো সময় শিথিলভাবে আবদ্ধ ফিল্ম কণাগুলোকে আঘাত করে; শক্তি স্থানান্তরের মাধ্যমে, জমা হওয়া কণাগুলো অধিক গতিশক্তি লাভ করে, যার ফলে নিউক্লিয়েশন ও বৃদ্ধির প্রক্রিয়া উন্নত হয়; যেকোনো সময় মেমব্রেন টিস্যুর উপর একটি সংকোচন প্রভাব তৈরি করে, যা ফিল্মটিকে আরও ঘনভাবে বৃদ্ধি পেতে সাহায্য করে; যদি প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস আয়ন প্রবেশ করানো হয়, তবে উপাদানটির পৃষ্ঠে একটি স্টোইকিওমেট্রিক যৌগিক স্তর তৈরি হতে পারে এবং এই যৌগিক স্তর ও সাবস্ট্রেটের মধ্যে কোনো ইন্টারফেস থাকে না।
২. আয়ন রশ্মি সহায়ক অবক্ষেপণের জন্য আয়ন উৎস
আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশনের বৈশিষ্ট্য হলো, সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে থাকা আয়ন উৎস থেকে আসা কম শক্তির আয়ন দ্বারা ফিল্ম স্তরের পরমাণুগুলো (ডিপোজিশন কণা) ক্রমাগত আঘাতপ্রাপ্ত হয়, যা ফিল্মের গঠনকে অত্যন্ত ঘন করে তোলে এবং ফিল্ম স্তরের কার্যকারিতা উন্নত করে। আয়ন বিমের শক্তি E হলো ≤ ৫০০eV। সাধারণত ব্যবহৃত আয়ন উৎসগুলোর মধ্যে রয়েছে: কাফম্যান আয়ন উৎস, হল আয়ন উৎস, অ্যানোড লেয়ার আয়ন উৎস, হলো ক্যাথোড হল আয়ন উৎস, রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি আয়ন উৎস, ইত্যাদি।
পোস্ট করার সময়: ৩০-জুন-২০২৩