1. Ион нурлары ярдәмендә урнаштыру, нигездә, материалларның өслеген үзгәртүгә ярдәм итү өчен түбән энергияле ион нурларын куллана.
(1) Ион ярдәмендә утыртуның үзенчәлекләре
Каплау процессы барышында, утыртылган пленка кисәкчәләре, зарядлы ион нурлары белән капланган вакытта, субстрат өслегендәге ион чыганагыннан зарядлы ионнар белән өзлексез бомбага тотыла.
(2) Ион ярдәмендә утыртуның роле
Югары энергияле ионнар теләсә кайсы вакытта йомшак бәйләнгән пленка кисәкчәләрен бомбага тоталар; Энергияне күчереп, урнаштырылган кисәкчәләр зуррак кинетик энергия алалар, шуның белән ядрәләнү һәм үсеш законын яхшырта; Теләсә кайсы вакытта мембрана тукымасына тыгызлану эффекты тудыралар, пленка тыгызрак үсә; Әгәр реактив газ ионнары кертелсә, материал өслегендә стехиометрик кушылма катламы барлыкка килергә мөмкин, һәм кушылма катлам белән субстрат арасында бернинди чик юк.
2. Ион нуры ярдәмендә утырту өчен ион чыганагы
Ион нуры ярдәмендә утыртуның үзенчәлеге шунда: пленка катламы атомнары ( утырту кисәкчәләре) субстрат өслегендәге ион чыганагыннан түбән энергияле ионнар белән өзлексез бомбага тотыла, бу пленка структурасын бик тыгыз итә һәм пленка катламының эшчәнлеген яхшырта. Ион нурының энергиясе E ≤ 500 эВ. Еш кулланыла торган ион чыганакларына түбәндәгеләр керә: Кауфман ион чыганагы, Холл ион чыганагы, анод катламы ион чыганагы, буш катодлы Холл ион чыганагы, радиоешлыклы ион чыганагы һ.б.
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 30 июне