Welina mai iā Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
hae_hoʻokahi

Hoʻokomo ʻia ke kukuna ion me ke kōkua o ka waiho ʻana a me ke kumu ion ikehu haʻahaʻa

Puna ʻatikala: Zhenhua vacuum
Heluhelu:10
Paʻi ʻia:23-06-30

1. Hoʻohana nui ka hoʻokomo ʻana i ke kukuna ion i nā kukuna ion ikehu haʻahaʻa e kōkua i ka hoʻololi ʻana i ka ʻili o nā mea.

Nā lako uhi magnetron kūikawā no nā ʻāpana metala kiʻekiʻe

(1) Nā ʻano o ka waiho ʻana i kōkua ʻia e ka ion

I ke kaʻina hana uhi ʻana, ua hoʻopuehu mau ʻia nā ʻāpana kiʻiʻoniʻoni i waiho ʻia e nā ion i hoʻopiʻi ʻia mai ke kumu ion ma luna o ka ʻili o ka substrate ʻoiai e uhi ʻia ana me nā kukuna ion i hoʻopiʻi ʻia.

(2) Ke kuleana o ka waiho ʻana i kōkua ʻia e ka ion

Hoʻopūʻiwa nā ion ikehu kiʻekiʻe i nā ʻāpana kiʻiʻoniʻoni paʻa ʻole i kēlā me kēia manawa; Ma ka hoʻoili ʻana i ka ikehu, loaʻa i nā ʻāpana i waiho ʻia ka ikehu kinetic nui aʻe, no laila e hoʻomaikaʻi ana i ke kānāwai o ka nucleation a me ka ulu ʻana; Hana i kahi hopena compaction ma ka ʻiʻo membrane i kēlā me kēia manawa, e ulu nui ai ke kiʻiʻoniʻoni; Inā hoʻokomo ʻia nā ion kinoea reactive, hiki ke hoʻokumu ʻia kahi papa hui stoichiometric ma luna o ka mea, a ʻaʻohe pilina ma waena o ka papa hui a me ka substrate.

2. Kumu ion no ka waiho ʻana i ke kukuna ion i kōkua ʻia

ʻO ke ʻano o ka waiho ʻana me ke kōkua o ke kukuna ion, ʻo ia ka hoʻopuehu mau ʻia ʻana o nā ʻātoma o ka papa kiʻiʻoniʻoni (nā ʻāpana waiho ʻana) e nā ion ikehu haʻahaʻa mai ke kumu ion ma luna o ka ʻili o ka substrate, e hoʻolilo ana i ke ʻano kiʻiʻoniʻoni i mea paʻa loa a hoʻomaikaʻi i ka hana o ka papa kiʻiʻoniʻoni. ʻO ka ikehu E o ke kukuna ion he ≤ 500eV. ʻO nā kumu ion i hoʻohana pinepine ʻia: kumu ion Kauffman, kumu ion Hall, kumu ion papa anode, kumu ion Hall hollow cathode, kumu ion alapine lekiō, a pēlā aku.


Ka manawa hoʻouna: Iune-30-2023