1. அயனி கற்றை உதவியுடனான படிவு முறையானது, பொருட்களின் மேற்பரப்பு மாற்றியமைப்பிற்கு உதவுவதற்காக, முக்கியமாக குறைந்த ஆற்றல் கொண்ட அயனி கற்றைகளைப் பயன்படுத்துகிறது.
(1) அயனி உதவி படிவு பண்புகள்
பூச்சு செயல்முறையின் போது, படியவைக்கப்பட்ட படலத் துகள்கள், மின்னூட்டம் பெற்ற அயனிக் கற்றைகளால் பூசப்படும் அதே வேளையில், அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் உள்ள அயனி மூலத்திலிருந்து வரும் மின்னூட்டம் பெற்ற அயனிகளால் தொடர்ந்து மோதப்படுகின்றன.
(2) அயனி உதவி படிதலின் பங்கு
உயர் ஆற்றல் அயனிகள், தளர்வாகப் பிணைக்கப்பட்ட படலத் துகள்களை எந்த நேரத்திலும் தாக்குகின்றன; ஆற்றலைப் பரிமாற்றம் செய்வதன் மூலம், படியவைக்கப்பட்ட துகள்கள் அதிக இயக்க ஆற்றலைப் பெறுகின்றன, அதன்மூலம் கருவாக்கம் மற்றும் வளர்ச்சி விதியை மேம்படுத்துகின்றன; எந்த நேரத்திலும் சவ்வுத் திசுவின் மீது ஒரு இறுக்க விளைவை ஏற்படுத்தி, படலத்தை மேலும் அடர்த்தியாக வளரச் செய்கின்றன; வினைபுரியும் வாயு அயனிகள் உட்செலுத்தப்பட்டால், பொருளின் மேற்பரப்பில் ஒரு விகிதசம கூட்டுப் படலத்தை உருவாக்க முடியும், மேலும் அந்தக் கூட்டுப் படலத்திற்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையில் எந்த இடைமுகமும் இல்லை.
2. அயனி கற்றை உதவியுடன் படிவு செய்வதற்கான அயனி மூலம்
அயனி கற்றை உதவியுடனான படிவு முறையின் சிறப்பியல்பு என்னவென்றால், படல அடுக்கின் அணுக்கள் (படிவுத் துகள்கள்) அயனி மூலத்திலிருந்து வரும் குறைந்த ஆற்றல் அயனிகளால் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் தொடர்ந்து மோதப்படுவதால், படல அமைப்பு மிகவும் அடர்த்தியாகி, படல அடுக்கின் செயல்திறன் மேம்படுகிறது. அயனி கற்றையின் ஆற்றல் E என்பது ≤ 500eV ஆகும். பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் அயனி மூலங்களில் காஃப்மேன் அயனி மூலம், ஹால் அயனி மூலம், ஆனோடு அடுக்கு அயனி மூலம், உள்ளீடற்ற கேத்தோடு ஹால் அயனி மூலம், ரேடியோ அதிர்வெண் அயனி மூலம் போன்றவை அடங்கும்.
பதிவிட்ட நேரம்: ஜூன்-30-2023