1. Ho thuswa ke ho beoa ha mahlasedi a ione haholoholo ho sebedisa mahlasedi a ione a nang le matla a tlase ho thusa ho fetola thepa hodima bokahodimo.
(1) Litšobotsi tsa ho kenngoa ha ion ka thuso ea ion
Nakong ea ts'ebetso ea ho koahela, likaroloana tsa filimi tse bolokiloeng li lula li hlaseloa ke li-ion tse nang le chaji tse tsoang mohloling oa li-ion holim'a substrate ha li ntse li koahetsoe ka mahlaseli a li-ion a nang le chaji.
(2) Karolo ea ho kenngoa ha li-ion tse thusang
Li-ion tse nang le matla a mangata li hlasela likaroloana tsa filimi tse tlamiloeng ka mokhoa o sa phutholohang ka nako efe kapa efe; Ka ho fetisetsa matla, likaroloana tse bolokiloeng li fumana matla a maholo a kinetic, ka hona li ntlafatsa molao oa nucleation le kholo; Li hlahisa phello ea ho khomarela lisele tsa lera ka nako efe kapa efe, li etsa hore filimi e hōle ka bongata; Haeba li-ion tsa khase tse arabelang li kenngoa, lera la motsoako oa stoichiometric le ka thehoa holim'a thepa, 'me ha ho na khokahano pakeng tsa lera la motsoako le substrate.
2. Mohloli oa Ion bakeng sa ho kenngoa ha mahlasedi a ion ka thuso ea ho kenngoa ha mahlasedi
Tšobotsi ea ho kenngoa ha mahlasedi a ion ke hore liathomo tsa lera la filimi (likaroloana tsa deposition) li lula li hlaseloa ke li-ion tse nang le matla a tlase tse tsoang mohloling oa ion holim'a substrate, e leng se etsang hore sebopeho sa filimi se be teteaneng haholo 'me se ntlafatse ts'ebetso ea lera la filimi. Matla a E a lera la ion ke ≤ 500eV. Mehloli ea li-ion e sebelisoang hangata e kenyelletsa: Mohloli oa li-ion oa Kauffman, Mohloli oa li-ion oa Hall, Mohloli oa li-ion oa lera la anode, Mohloli oa li-ion oa Hall o se nang letho, Mohloli oa li-ion oa maqhubu a seea-le-moea, jj.
Nako ea poso: Phuptjane-30-2023