అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ మరియు తక్కువ శక్తి అయాన్ మూలం

1. అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపోజిషన్ ప్రధానంగా పదార్థాల ఉపరితల మార్పుకు సహాయపడటానికి తక్కువ శక్తి గల అయాన్ బీమ్‌లను ఉపయోగిస్తుంది.

(1) అయాన్ సహాయక నిక్షేపణ లక్షణాలు

కోటింగ్ ప్రక్రియ సమయంలో, చార్జ్డ్ అయాన్ బీమ్‌లతో పూత పూయబడుతున్నప్పుడు, సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై ఉన్న అయాన్ సోర్స్ నుండి వెలువడే చార్జ్డ్ అయాన్‌ల ద్వారా నిక్షేపించబడిన ఫిల్మ్ కణాలు నిరంతరం తాకబడతాయి.

(2) అయాన్ సహాయక నిక్షేపణ పాత్ర

అధిక శక్తి గల అయాన్లు వదులుగా బంధించబడిన ఫిల్మ్ కణాలను ఎప్పుడైనా తాకుతాయి; శక్తి బదిలీ ద్వారా, నిక్షేపించబడిన కణాలు అధిక గతిజ శక్తిని పొందుతాయి, తద్వారా కేంద్రక మరియు వృద్ధి నియమాన్ని మెరుగుపరుస్తాయి; ఎప్పుడైనా పొర కణజాలంపై సంపీడన ప్రభావాన్ని ఉత్పత్తి చేసి, ఫిల్మ్ మరింత దట్టంగా పెరిగేలా చేస్తాయి; రియాక్టివ్ గ్యాస్ అయాన్లను ఇంజెక్ట్ చేస్తే, పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై ఒక స్టోయికియోమెట్రిక్ సమ్మేళన పొర ఏర్పడుతుంది, మరియు సమ్మేళన పొర మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య ఎటువంటి ఇంటర్‌ఫేస్ ఉండదు.

2. అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ కోసం అయాన్ మూలం

అయాన్ బీమ్ సహాయక డిపోజిషన్ యొక్క లక్షణం ఏమిటంటే, సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై ఉన్న ఫిల్మ్ పొర అణువులను (డిపోజిషన్ కణాలు) అయాన్ సోర్స్ నుండి వెలువడే తక్కువ శక్తి గల అయాన్‌లతో నిరంతరం ఢీకొనేలా చేయడం. దీనివల్ల ఫిల్మ్ నిర్మాణం చాలా దట్టంగా మారి, ఫిల్మ్ పొర పనితీరు మెరుగుపడుతుంది. అయాన్ బీమ్ యొక్క శక్తి E ≤ 500eV ఉంటుంది. సాధారణంగా ఉపయోగించే అయాన్ సోర్స్‌లలో ఇవి ఉన్నాయి: కాఫ్‌మన్ అయాన్ సోర్స్, హాల్ అయాన్ సోర్స్, ఆనోడ్ లేయర్ అయాన్ సోర్స్, హాలో కాథోడ్ హాల్ అయాన్ సోర్స్, రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ అయాన్ సోర్స్, మొదలైనవి.