1. Иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү негизинен материалдардын бетин өзгөртүүгө көмөктөшүү үчүн аз энергиялуу иондук нурларды колдонот.
(1) Иондук жардам менен чөктүрүүнүн мүнөздөмөлөрү
Каптоо процессинде, чөктүрүлгөн пленка бөлүкчөлөрү заряддалган ион нурлары менен капталган учурда, субстраттын бетиндеги ион булагынан заряддалган иондор менен тынымсыз бомбаланып турат.
(2) Иондук жардам менен чөктүрүүнүн ролу
Жогорку энергиялуу иондор каалаган убакта бош байланышкан пленка бөлүкчөлөрүн бомбалайт; Энергияны өткөрүп берүү менен, чөкмө бөлүкчөлөр чоңураак кинетикалык энергияга ээ болушат, ошону менен ядролук жана өсүү мыйзамын жакшыртат; Каалаган убакта мембрана тканына тыгыздоо эффектин жаратат, бул пленканын тыгызыраак өсүшүнө шарт түзөт; Эгерде реактивдүү газ иондору сайылса, материалдын бетинде стехиометриялык кошулма катмары пайда болушу мүмкүн жана кошулма катмар менен субстраттын ортосунда эч кандай интерфейс болбойт.
2. Иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү үчүн ион булагы
Ион нурунун жардамы менен чөктүрүүнүн өзгөчөлүгү - пленка катмарынын атомдору (чөкмө бөлүкчөлөрү) субстраттын бетиндеги ион булагынан келген аз энергиялуу иондор менен тынымсыз бомбаланып турат, бул пленканын түзүлүшүн абдан тыгыз кылат жана пленка катмарынын иштешин жакшыртат. Ион нурунун E энергиясы ≤ 500 эВ. Көп колдонулган ион булактарына төмөнкүлөр кирет: Кауфман ион булагы, Холл ион булагы, анод катмарынын ион булагы, көңдөй катод Холл ион булагы, радио жыштыктагы ион булагы ж.б.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 30-июну