1. Таҳвили бо ёрии шуоъҳои ионӣ асосан аз шуоъҳои ионии камэнергия барои кӯмак дар тағир додани сатҳи маводҳо истифода мебарад.
(1) Хусусиятҳои таҳшиншавии бо ёрии ионҳо
Дар раванди пӯшиш, зарраҳои плёнкаи гузошташуда пайваста аз ҷониби ионҳои заряднок аз манбаи ион дар сатҳи субстрат бомбаборон карда мешаванд ва бо нурҳои иони заряднок пӯшонида мешаванд.
(2) Нақши таҳшиншавии бо ёрии ионҳо
Ионҳои баландэнергия зарраҳои плёнкаи суст пайвастшударо дар вақти дилхоҳ бомбаборон мекунанд; Бо интиқоли энергия, зарраҳои гузошташуда энергияи кинетикии бештар ба даст меоранд ва бо ин васила қонуни ядрошавӣ ва афзоишро беҳтар мекунанд; Дар вақти дилхоҳ ба бофтаи мембрана таъсири фишурдашавӣ эҷод мекунанд, ки боиси афзоиши зичии плёнка мегардад; Агар ионҳои гази реактивӣ ворид карда шаванд, дар сатҳи мавод қабати пайвастагии стехиометрӣ ба вуҷуд омада метавонад ва байни қабати пайвастагӣ ва субстрат ҳеҷ гуна интерфейс вуҷуд надорад.
2. Манбаи ион барои таҳшинкунии бо ёрии шуоъи ионӣ
Хусусияти таҳшиншавии бо шуоъи ионӣ кӯмаккунанда дар он аст, ки атомҳои қабати плёнка (зарраҳои таҳшиншавӣ) аз ҷониби ионҳои камэнергия аз манбаи ион дар сатҳи субстрат пайваста бомбаборон карда мешаванд, ки сохтори плёнкаро хеле зич мегардонад ва кори қабати плёнкаро беҳтар мекунад. Энергияи E-и шуоъи ионӣ ≤ 500 эВ аст. Манбаъҳои ионии маъмулан истифодашаванда инҳоянд: манбаи иони Кауфман, манбаи иони Холл, манбаи иони қабати анод, манбаи иони Холл катоди холӣ, манбаи иони басомади радио ва ғайра.
Вақти нашр: 30 июни соли 2023