Gushyiramo ion beam hamwe n'isoko ry'ingufu nke za ion

1. Gushyiramo imirasire ya ioni ahanini bikoresha imirasire ya ioni ifite ingufu nke kugira ngo bifashe mu guhindura ubuso bw'ibikoresho.

(1) Ibiranga iyoni ifashijwe mu gutanga

Mu gihe cyo gusiga, uduce twa filime twabitswe duhora duterwa na iyoni zishyushye ziva ku isoko ya iyoni ku buso bw'ubutaka mu gihe zitwikiriwe n'imirasire ya iyoni ishyushye.

(2) Uruhare rw'ishyirwa ry'iyoni rifasha mu gutanga

Ion nyinshi zikoresha ingufu nyinshi zitera uduce twa filime dufunganye neza igihe icyo ari cyo cyose; Mu kohereza ingufu, uduce twabitswe bigira imbaraga nyinshi za kinetic, bityo bikanoza itegeko rya nucleation no gukura; Bitanga ingaruka zo gufungana ku ngirabuzimafatizo igihe icyo ari cyo cyose, bigatuma filime ikura cyane; Iyo ion za gaze zikora neza zitewe, urwego rwa stoichiometric rushobora gukorwa ku buso bw'ibikoresho, kandi ntaho ruhurira hagati y'urwego rwa filime n'urufunguzo.

2. Isoko ya iyoni yo gushyiramo imirasire ya iyoni

Ikiranga imiterere y’urumuri rwa ion rufashwa n’amashanyarazi ni uko atome z’urumuri rwa film (uduce duto two mu kirere) zihora ziterwa na iyoni nkeya ziva ku isoko ya ion ku buso bw’ubutaka, bigatuma imiterere ya film iba nini cyane kandi ikanoza imikorere y’urumuri rwa film. Ingufu E z’urumuri rwa ion ni ≤ 500eV. Inkomoko za ion zikoreshwa cyane zirimo: isoko ya ion ya Kauffman, isoko ya ion ya Hall, isoko ya ion ya anode, isoko ya ion ya Hall, isoko ya ion ya radio frequency, nibindi.