1. Phương pháp lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion chủ yếu sử dụng các chùm ion năng lượng thấp để hỗ trợ quá trình biến đổi bề mặt vật liệu.
(1) Đặc điểm của quá trình lắng đọng có hỗ trợ ion
Trong quá trình phủ, các hạt màng được lắng đọng liên tục bị bắn phá bởi các ion mang điện từ nguồn ion trên bề mặt chất nền trong khi được phủ bằng chùm ion mang điện.
(2) Vai trò của quá trình lắng đọng có sự hỗ trợ của ion
Các ion năng lượng cao bắn phá các hạt màng liên kết lỏng lẻo bất cứ lúc nào; Bằng cách truyền năng lượng, các hạt được lắng đọng thu được động năng lớn hơn, do đó cải thiện quy luật hình thành và phát triển; Tạo ra hiệu ứng nén chặt trên mô màng bất cứ lúc nào, làm cho màng phát triển dày đặc hơn; Nếu các ion khí phản ứng được bơm vào, một lớp hợp chất có thành phần hóa học xác định có thể được hình thành trên bề mặt vật liệu, và không có giao diện giữa lớp hợp chất và chất nền.
2. Nguồn ion cho quá trình lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion
Đặc điểm của phương pháp lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion là các nguyên tử lớp màng (các hạt lắng đọng) liên tục bị bắn phá bởi các ion năng lượng thấp từ nguồn ion trên bề mặt chất nền, làm cho cấu trúc màng rất dày đặc và cải thiện hiệu suất của lớp màng. Năng lượng E của chùm ion là ≤ 500eV. Các nguồn ion thường được sử dụng bao gồm: nguồn ion Kauffman, nguồn ion Hall, nguồn ion lớp anot, nguồn ion Hall catốt rỗng, nguồn ion tần số vô tuyến, v.v.
Thời gian đăng bài: 30/06/2023