1. Ion nurlari yordamida cho'ktirish asosan materiallarning sirtini o'zgartirishga yordam berish uchun kam energiyali ion nurlaridan foydalanadi.
(1) Ion yordamida cho'ktirishning xususiyatlari
Qoplama jarayonida, cho'ktirilgan plyonka zarralari zaryadlangan ion nurlari bilan qoplangan holda, substrat yuzasidagi ion manbaidan zaryadlangan ionlar tomonidan doimiy ravishda bombardimon qilinadi.
(2) Ion yordamida cho'ktirishning roli
Yuqori energiyali ionlar istalgan vaqtda bo'shashgan plyonka zarralarini bombardimon qiladi; Energiyani uzatish orqali cho'ktirilgan zarralar ko'proq kinetik energiyaga ega bo'ladi va shu bilan yadrolanish va o'sish qonunini yaxshilaydi; Istalgan vaqtda membrana to'qimasiga siqilish effektini yaratadi, bu esa plyonkaning zichroq o'sishiga olib keladi; Agar reaktiv gaz ionlari yuborilsa, material yuzasida stexiometrik birikma qatlami hosil bo'lishi mumkin va birikma qatlami va substrat o'rtasida hech qanday interfeys bo'lmaydi.
2. Ion nurlari yordamida cho'ktirish uchun ion manbai
Ion nurlari yordamida cho'ktirishning o'ziga xos xususiyati shundaki, plyonka qatlami atomlari (cho'ktirish zarralari) substrat yuzasidagi ion manbaidan past energiyali ionlar tomonidan doimiy ravishda bombardimon qilinadi, bu esa plyonka tuzilishini juda zich qiladi va plyonka qatlamining ishlashini yaxshilaydi. Ion nurining energiyasi E ≤ 500 eV ni tashkil qiladi. Keng tarqalgan ion manbalariga quyidagilar kiradi: Kauffman ion manbai, Hall ion manbai, anod qatlami ion manbai, ichi bo'sh katodli Hall ion manbai, radiochastotali ion manbai va boshqalar.
Nashr vaqti: 2023-yil 30-iyun