1.Ion şöhlesiniň kömegi bilen materiallaryň ýerüsti üýtgemegine kömek etmek üçin esasan pes energiýa ion şöhleleri ulanylýar.
(1) Ionyň kömek edýän çökdüriliş aýratynlyklary
Örtük prosesinde, goýlan film bölejikleri zarýadly ion şöhleleri bilen örtülen mahaly substratyň üstündäki ion çeşmesinden zarýadly ionlar bilen yzygiderli bombalanýar.
(2) Ionyň roly çökdürmäge kömek etdi
Energyokary energiýa ionlary islän film bölejiklerini islendik wagt bombalaýar; Energiýany geçirmek bilen, goýlan bölejikler has uly kinetiki energiýa gazanýarlar we şeýlelik bilen ýadro we ösüş kanunyny gowulaşdyrýarlar; Filmiň has dykyz ösmegine sebäp bolup, membrananyň dokumasyna islendik wagt gysyş täsirini öndüriň; Reaktiw gaz ionlary sanjym edilse, materialyň üstünde stoiometrik birleşme gatlagy emele gelip biler we birleşme gatlagy bilen substratyň arasynda interfeýs ýok.
2. Ion şöhlesi üçin ion çeşmesi
Ion şöhlesine kömek edilýän çöketligiň häsiýetnamasy, film gatlagynyň atomlarynyň (çöketlik bölejikleri) substratyň üstündäki ion çeşmesinden pes energiýa ionlary bilen yzygiderli bombalanmagy, filmiň gurluşyny gaty dykyzlaşdyrmagy we film gatlagynyň işleýşini gowulandyrmagydyr. Ion şöhlesiniň E energiýasy ≤ 500eV. Köplenç ulanylýan ion çeşmeleri: Kauffman ion çeşmesi, Hall ion çeşmesi, anod gatlagy ion çeşmesi, içi boş katod Hall ion çeşmesi, radio ýygylyk ion çeşmesi we ş.m.
Iş wagty: Iýun-30-2023