Reaktiw magnetron püskürtmesi, püskürtme prosesinde püsküren bölejikler bilen reaksiýa girmek üçin reaktiw gazyň berilmegini we birleşme plyonkasyny öndürmegi aňladýar. Ol püskürýän birleşme nyşany bilen reaksiýa girmek üçin reaktiw gaz bilen şol bir wagtyň özünde üpjün edip biler, şeýle hem berlen himiki gatnaşykly birleşme plyonkasyny taýýarlamak üçin püskürýän metal ýa-da ergin nyşany bilen reaksiýa girmek üçin reaktiw gaz bilen şol bir wagtyň özünde üpjün edip biler. Birleşme plyonkalaryny taýýarlamak üçin reaktiw magnetron püskürtmesiniň aýratynlyklary:
(1) Reaktiw magnetron püskürtmek üçin ulanylýan nyşana materiallary (bir elementli nyşana ýa-da köp elementli nyşana) we reaksiýa gazlaryny ýokary arassalyk bilen almak aňsat, bu bolsa ýokary arassalykly birleşme plýonkalaryny taýýarlamaga amatlydyr.
(2) Reaktiw magnetron püskürtmesinde, çökdürme prosesiniň parametrlerini sazlamak arkaly, birleşme plýonkalarynyň himiki gatnaşygyny ýa-da himiki däl gatnaşygyny taýýarlap bolýar, şonuň üçin plýonkanyň düzümini sazlamak arkaly plýonkanyň häsiýetlerini sazlamak maksadyna ýetmek mümkin.
(3) Reaktiw magnetron püskürtme çökündisi döwründe substratyň temperaturasy, adatça, gaty ýokary bolmaýar we plýonka emele getirmek prosesi, adatça, substratyň örän ýokary temperatura çenli gyzdyrylmagyny talap etmeýär, şonuň üçin substrat materialyna çäklendirmeler az bolýar.
(4) Reaktiw magnetron püskürtmek uly meýdanly birmeňzeş inçe plýonkalary taýýarlamak üçin amatlydyr we bir maşyndan ýyllyk bir million inedördül metr örtük önümçiligi bilen senagatlaşdyrylan önümçiligi gazanyp biler. Köp ýagdaýlarda, pýonkanyň tebigatyny püskürtmek wagtynda reaktiw gazyň inert gaza gatnaşygyny üýtgetmek arkaly üýtgedip bolýar. Mysal üçin, plýonkany metaldan ýarymgeçiriji ýa-da metal däl materiala üýtgedip bolýar.
——Bu makalada barwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua boşadyldy
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 31-nji awgusty