रिएक्टिव मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग का अर्थ है कि स्पटरिंग की प्रक्रिया में स्पटर किए गए कणों के साथ प्रतिक्रिया करने के लिए रिएक्टिव गैस की आपूर्ति की जाती है, जिससे एक मिश्रित फिल्म बनती है। यह स्पटरिंग मिश्रित लक्ष्य के साथ-साथ प्रतिक्रिया करने के लिए रिएक्टिव गैस की आपूर्ति कर सकता है, और साथ ही स्पटरिंग धातु या मिश्र धातु लक्ष्य के साथ प्रतिक्रिया करने के लिए रिएक्टिव गैस की आपूर्ति करके एक निश्चित रासायनिक अनुपात वाली मिश्रित फिल्म तैयार कर सकता है। मिश्रित फिल्मों को तैयार करने के लिए रिएक्टिव मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग की विशेषताएं इस प्रकार हैं:
(1) रिएक्टिव मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग (एकल तत्व लक्ष्य या बहु-तत्व लक्ष्य) और प्रतिक्रिया गैसों के लिए उपयोग की जाने वाली लक्ष्य सामग्री उच्च शुद्धता प्राप्त करना आसान है, जो उच्च-शुद्धता यौगिक फिल्मों की तैयारी के लिए अनुकूल है।
(2) प्रतिक्रियाशील मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग में, जमाव प्रक्रिया मापदंडों को समायोजित करके, रासायनिक अनुपात या गैर-रासायनिक अनुपात वाले यौगिक फिल्मों को तैयार किया जा सकता है, ताकि फिल्म की संरचना को समायोजित करके फिल्म की विशेषताओं को विनियमित करने का उद्देश्य प्राप्त किया जा सके।
(3) रिएक्टिव मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग डिपोजिशन प्रक्रिया के दौरान सब्सट्रेट का तापमान आमतौर पर बहुत अधिक नहीं होता है, और फिल्म बनाने की प्रक्रिया में आमतौर पर सब्सट्रेट को बहुत उच्च तापमान तक गर्म करने की आवश्यकता नहीं होती है, इसलिए सब्सट्रेट सामग्री पर कम प्रतिबंध होते हैं।
(4) रिएक्टिव मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग बड़े क्षेत्रफल वाली समरूप पतली फिल्मों के निर्माण के लिए उपयुक्त है, और एक ही मशीन से प्रति वर्ष दस लाख वर्ग मीटर कोटिंग के औद्योगिक उत्पादन को प्राप्त किया जा सकता है। कई मामलों में, स्पटरिंग के दौरान रिएक्टिव गैस और इनर्ट गैस के अनुपात को बदलकर फिल्म की प्रकृति को आसानी से बदला जा सकता है। उदाहरण के लिए, फिल्म को धातु से अर्धचालक या अधात्विक में बदला जा सकता है।
—इस लेख मेंवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ रिहा
पोस्ट करने का समय: 31 अगस्त 2023