Реактивті магнетронды тозаңдату дегеніміз, тозаңдату процесінде шашыраған бөлшектермен әрекеттесіп, қосылыс пленкасын алу үшін реактивті газдың берілуін білдіреді. Ол бір уақытта тозаңдайтын қосылыс нысанасымен әрекеттесу үшін реактивті газды бере алады, сондай-ақ берілген химиялық қатынасы бар қосылыс пленкасын дайындау үшін бір уақытта тозаңдайтын металл немесе қорытпа нысанасымен әрекеттесу үшін реактивті газды бере алады. Қосылыс пленкаларын дайындау үшін реактивті магнетронды тозаңдату сипаттамалары:
(1) Реактивті магнетронды тозаңдату үшін қолданылатын нысана материалдары (бір элементті нысана немесе көп элементті нысана) және реакция газдары жоғары тазалықты алу оңай, бұл жоғары тазалықтағы қосылыс қабықшаларын дайындауға ықпал етеді.
(2) Реактивті магнетронды тозаңдату кезінде тұндыру процесінің параметрлерін реттеу арқылы қосылыс пленкаларының химиялық қатынасын немесе химиялық емес қатынасын дайындауға болады, осылайша пленканың құрамын реттеу арқылы пленка сипаттамаларын реттеу мақсатына қол жеткізуге болады.
(3) Реактивті магнетронды шашырату кезінде негіздің температурасы әдетте тым жоғары болмайды, ал пленка қалыптастыру процесі әдетте негізді өте жоғары температураға дейін қыздыруды қажет етпейді, сондықтан негіз материалына шектеулер аз болады.
(4) Реактивті магнетронды тозаңдату үлкен аумақты біртекті жұқа қабықшаларды дайындауға жарамды және бір машинадан жылына бір миллион шаршы метр жабын шығарумен өнеркәсіптік өндіріске қол жеткізе алады. Көптеген жағдайларда тозаңдату кезінде реактивті газдың инертті газға қатынасын өзгерту арқылы қабықшаның табиғатын өзгертуге болады. Мысалы, қабықшаны металдан жартылай өткізгіш немесе металл емеске өзгертуге болады.
——Бұл мақалада барвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа босатылды
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 31 тамыз