রিঅ্যাক্টিভ ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং বলতে বোঝায়, স্পাটারিং প্রক্রিয়ায় স্পাটার্ড কণার সাথে বিক্রিয়া করার জন্য রিঅ্যাক্টিভ গ্যাস সরবরাহ করে একটি যৌগিক ফিল্ম তৈরি করা। এটি একই সাথে স্পাটারিং যৌগিক টার্গেটের সাথে বিক্রিয়া করার জন্য রিঅ্যাক্টিভ গ্যাস সরবরাহ করতে পারে, এবং একটি নির্দিষ্ট রাসায়নিক অনুপাতে যৌগিক ফিল্ম প্রস্তুত করার জন্য স্পাটারিং ধাতু বা সংকর টার্গেটের সাথেও বিক্রিয়া করার জন্য রিঅ্যাক্টিভ গ্যাস সরবরাহ করতে পারে। যৌগিক ফিল্ম প্রস্তুত করার জন্য রিঅ্যাক্টিভ ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং-এর বৈশিষ্ট্যগুলো হলো:
(1) রিঅ্যাক্টিভ ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং-এর জন্য ব্যবহৃত টার্গেট উপাদান (একক উপাদান টার্গেট বা বহু-উপাদান টার্গেট) এবং বিক্রিয়া গ্যাস সহজেই উচ্চ বিশুদ্ধতায় পাওয়া যায়, যা উচ্চ-বিশুদ্ধ যৌগিক ফিল্ম তৈরির জন্য সহায়ক।
(2) রিঅ্যাক্টিভ ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং-এ, ডিপোজিশন প্রক্রিয়ার প্যারামিটারগুলি সামঞ্জস্য করে, রাসায়নিক অনুপাত বা অ-রাসায়নিক অনুপাতের যৌগিক ফিল্ম তৈরি করা যেতে পারে, যাতে ফিল্মের গঠন সামঞ্জস্য করে ফিল্মের বৈশিষ্ট্যগুলি নিয়ন্ত্রণ করার উদ্দেশ্য অর্জন করা যায়।
(3) রিঅ্যাক্টিভ ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং ডিপোজিশন প্রক্রিয়ার সময় সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা সাধারণত খুব বেশি হয় না এবং ফিল্ম তৈরির প্রক্রিয়ায় সাধারণত সাবস্ট্রেটকে খুব উচ্চ তাপমাত্রায় গরম করার প্রয়োজন হয় না, তাই সাবস্ট্রেটের উপাদানের উপর বিধিনিষেধ কম থাকে।
(4) রিঅ্যাক্টিভ ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং বড় আকারের সমজাতীয় পাতলা ফিল্ম তৈরির জন্য উপযুক্ত, এবং একটি মেশিন থেকে বছরে দশ লক্ষ বর্গ মিটার কোটিং উৎপাদনের মাধ্যমে শিল্পায়িত উৎপাদন অর্জন করা সম্ভব। অনেক ক্ষেত্রে, স্পাটারিংয়ের সময় কেবল রিঅ্যাক্টিভ গ্যাস এবং ইনার্ট গ্যাসের অনুপাত পরিবর্তন করে ফিল্মের প্রকৃতি পরিবর্তন করা যায়। উদাহরণস্বরূপ, ফিল্মটিকে ধাতু থেকে সেমিকন্ডাক্টর বা অধাতুতে পরিবর্তন করা যেতে পারে।
এই নিবন্ধটিতে আছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া মুক্তি পেয়েছে
পোস্ট করার সময়: ৩১ আগস্ট, ২০২৩