Phương pháp lắng đọng phún xạ magnetron phản ứng nghĩa là khí phản ứng được cung cấp để phản ứng với các hạt phún xạ trong quá trình phún xạ nhằm tạo ra màng hợp chất. Nó có thể cung cấp khí phản ứng để phản ứng với mục tiêu hợp chất phún xạ cùng lúc, và cũng có thể cung cấp khí phản ứng để phản ứng với mục tiêu kim loại hoặc hợp kim phún xạ cùng lúc để chuẩn bị màng hợp chất với tỷ lệ hóa học nhất định. Các đặc điểm của phương pháp lắng đọng phún xạ magnetron phản ứng để chuẩn bị màng hợp chất là:
(1) Vật liệu mục tiêu được sử dụng cho quá trình phún xạ magnetron phản ứng (mục tiêu nguyên tố đơn hoặc mục tiêu nguyên tố đa) và khí phản ứng dễ dàng có được độ tinh khiết cao, điều này có lợi cho việc chuẩn bị màng hợp chất có độ tinh khiết cao.
(2) Trong quá trình lắng đọng bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng, bằng cách điều chỉnh các thông số của quá trình lắng đọng, có thể chuẩn bị các màng hợp chất theo tỷ lệ hóa học hoặc tỷ lệ phi hóa học, nhằm đạt được mục đích điều chỉnh các đặc tính của màng bằng cách điều chỉnh thành phần của màng.
(3) Nhiệt độ của chất nền thường không quá cao trong quá trình lắng đọng phún xạ magnetron phản ứng và quá trình tạo màng thường không yêu cầu chất nền phải được nung nóng đến nhiệt độ rất cao, do đó có ít hạn chế hơn đối với vật liệu chất nền.
(4) Phương pháp phún xạ magnetron phản ứng thích hợp cho việc chế tạo màng mỏng đồng nhất diện tích lớn và có thể đạt được sản xuất công nghiệp với sản lượng hàng năm là một triệu mét vuông lớp phủ từ một máy duy nhất. Trong nhiều trường hợp, bản chất của màng có thể được thay đổi bằng cách đơn giản thay đổi tỷ lệ khí phản ứng với khí trơ trong quá trình phún xạ. Ví dụ, màng có thể được thay đổi từ kim loại thành chất bán dẫn hoặc phi kim loại.
——Bài viết này cóNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa phát hành
Thời gian đăng bài: 31 tháng 8 năm 2023