Ny "reactive magnetron sputtering" dia midika fa omena entona mihetsika mba hihetsika amin'ny poti-javatra miparitaka mandritra ny dingan'ny "sputtering" mba hamokarana sarimihetsika mitambatra. Afaka manome entona mihetsika izy io mba hihetsika amin'ny lasibatra mitambatra miaraka amin'izay, ary afaka manome entona mihetsika ihany koa mba hihetsika amin'ny lasibatra metaly na firaka miaraka amin'izay mba hanomanana sarimihetsika mitambatra miaraka amin'ny tahan'ny simika voafaritra. Ireto avy ny toetran'ny "reactive magnetron sputtering" mba hanomanana sarimihetsika mitambatra:
(1) Mora ny mahazo fahadiovana avo lenta amin'ny fitaovana kendrena ampiasaina amin'ny "reactive magnetron sputtering" (singa tokana na singa maro) sy ny entona mihetsika, izay manampy amin'ny fanomanana sarimihetsika fitambarana madio avo lenta.
(2) Amin'ny fampiasana magnetron sputtering mihetsika, amin'ny alàlan'ny fanitsiana ny masontsivana momba ny fizotran'ny fametrahana, dia azo omanina ny tahan'ny simika na ny tahan'ny tsy simika amin'ny sarimihetsika mitambatra, mba hahatratrarana ny tanjon'ny fandrindrana ny toetran'ny sarimihetsika amin'ny alàlan'ny fanitsiana ny firafitry ny sarimihetsika.
(3) Amin'ny ankapobeny dia tsy dia avo loatra ny mari-pana ao amin'ny substrate mandritra ny dingana fametrahana magnetron sputtering reactive, ary ny dingana famoronana sarimihetsika dia mazàna tsy mitaky ny fanafanana ny substrate amin'ny mari-pana avo dia avo, ka vitsy kokoa ny fameperana amin'ny akora substrate.
(4) Ny "reactive magnetron sputtering" dia mety amin'ny fanomanana sarimihetsika manify homogeneous amin'ny faritra midadasika, ary afaka mahatratra famokarana indostrialy miaraka amin'ny vokatra isan-taona mitentina iray tapitrisa metatra toradroa amin'ny coating avy amin'ny milina tokana. Amin'ny tranga maro, ny toetran'ny sarimihetsika dia azo ovaina amin'ny alàlan'ny fanovana fotsiny ny tahan'ny entona mihetsika amin'ny entona tsy mihetsika mandritra ny sputtering. Ohatra, ny sarimihetsika dia azo ovaina avy amin'ny metaly ho semiconductor na tsy metaly.
——Ity lahatsoratra ity dia mananampanamboatra milina fanosotra bangaNavoaka i Guangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 31 Aogositra 2023